[发明专利]一种可精确修调电阻阻值的方法

权利要求书

1.一种可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

1)确认设计电阻的类型，电阻的基本阻值和需要的面积；

2)根据步骤1)的设计，将电阻去层次化；

3)在去层次化的电阻上形成一个带有修调区的图形；

4)对修调区进行修调。

2.根据权利要求1所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤2)中电阻去层次化是根据设计要求的基本阻值和需要的面积，改变单个或多个电阻的形状，在电阻连接处去掉或增加一定数量的通孔，修调电阻连接处的金属，形成满足设计要求的电阻形态。

3.根据权利要求2所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤2)中根据实际需求，可将电阻改变为不规则的形状。

4.根据权利要求3所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤2)中为使电阻基本结构保持不变，需要处理有效电阻层。

5.根据权利要求4所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤4)修调是通过激光烧结在电阻的修调区对电阻进行照射，来破坏掉小部分电阻。

6.根据权利要求1至5任一权利要求所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤1)的电阻的类型为低温漂属性电阻。

7.根据权利要求6所述的可精确修调电阻阻值的方法，其特征在于：所述步骤1)的电阻的类型包括多晶硅电阻和薄膜电阻。