[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 202011405734.X 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN112908988A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 白尚训;李昇映 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/538
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王新华
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,包括:

第一方向多个配线,在第一方向上延伸;和

第二方向多个配线,在与所述第一方向相交的第二方向上延伸,

其中在所述第一方向上延伸的所述第一方向多个配线包括:

栅极配线,在所述第二方向上以栅极节距彼此间隔开,

第一配线,在所述栅极配线之上,在所述第二方向上以第一节距彼此间隔开,

第二配线,在所述第一配线之上,在所述第二方向上以第二节距彼此间隔开,以及

第三配线,在所述第二配线之上,在所述第二方向上以第三节距彼此间隔开,并且

所述栅极节距和所述第二节距之间的比率为6:5。

2.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述栅极节距、所述第一节距和所述第二节距之间的比率为6:4:5。

3.如权利要求2所述的半导体器件,其中所述栅极节距、所述第一节距、所述第二节距和所述第三节距之间的比率为6:4:5:9。

4.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述栅极节距、所述第二节距和所述第三节距之间的比率为6:5:9。

5.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述第二方向多个配线包括:

第四配线,在所述第一方向上以第四节距彼此间隔开,和

第五配线,在所述第四配线之上,在所述第一方向上以第五节距彼此间隔开,

所述第四配线在所述栅极配线之上且在所述第一配线之下,

所述第五配线在所述第一配线之上且在所述第二配线之下,并且

所述第四节距和所述第五节距之间的比率为5:4。

6.如权利要求5所述的半导体器件,其中所述第二方向多个配线还包括:

第六配线,在所述第五配线之上,在所述第一方向上以第六节距彼此间隔开,

所述第六配线在所述第二配线之上且在所述第三配线之下,并且

所述第四节距、所述第五节距和所述第六节距之间的比率为5:4:6。

7.如权利要求6所述的半导体器件,其中所述第二方向多个配线还包括:

第七配线,在所述第六配线之上,在所述第一方向上以第七节距彼此间隔开,

所述第七配线在所述第三配线之上,并且

所述第四节距、所述第五节距、所述第六节距和所述第七节距之间的比率为5:4:6:10。

8.如权利要求1所述的半导体器件,其中所述第二方向多个配线包括:

第四配线,在所述第一方向上以第四节距彼此间隔开,

第五配线,在所述第四配线之上,在所述第一方向上以第五节距彼此间隔开,以及

第六配线,在所述第五配线之上,在所述第一方向上以第六节距彼此间隔开,

所述第四配线在所述栅极配线之上且在所述第一配线之下,

所述第五配线在所述第一配线之上且在所述第二配线之下,

所述第六配线在所述第二配线之上且在所述第三配线之下,并且

所述第五节距和所述第六节距之间的比率为4:6。

9.如权利要求8所述的半导体器件,其中所述第二方向多个配线包括:

第七配线,在所述第六配线之上,在所述第一方向上以第七节距彼此间隔开,

所述第七配线在所述第三配线之上,并且

所述第五节距、所述第六节距和所述第七节距之间的比率为4:6:10。

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