[发明专利]一种掩膜条分类设备和掩膜条分类方法在审
申请号: | 202011409683.8 | 申请日: | 2020-12-04 |
公开(公告)号: | CN112642746A | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 沈志昇;骆丽兵 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34 |
代理公司: | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 张明 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜条 分类 设备 方法 | ||
1.一种掩膜条分类设备,其特征在于,包括机架和移动机构,所述机架上设有掩膜载台,所述移动机构位于掩膜载台上方,所述掩膜载台靠近移动机构的一侧面上放置有掩膜条包装盒,所述掩膜条包装盒中放置有两个以上的金属掩膜条,相邻两个所述金属掩膜条之间设有无尘纸,所述移动机构靠近掩膜载台的一侧面上连接有两个以上的吸附机构,所述吸附机构被配置为对掩膜条包装盒中的金属掩膜条和无尘纸进行吸附;
所述机架一侧面的相对两端上分别设有掩膜条张力机构,所述掩膜条张力机构被配置为对金属掩膜条进行张力以使金属掩膜条的张力值等于预设张力值;
所述移动机构靠近掩膜载台的一侧面还设有开孔量测机构,所述开孔量测机构位于金属掩膜条上方。
2.根据权利要求1所述的掩膜条分类设备,其特征在于,所述吸附机构为真空吸附机构,所述真空吸附机构的吸附头上开设有两个以上的吸附孔。
3.根据权利要求2所述的掩膜条分类设备,其特征在于,所述吸附孔的孔径大小为0.5mm-0.7mm。
4.根据权利要求2所述的掩膜条分类设备,其特征在于,所述吸附孔的竖直截面的形状为三角形。
5.一种基于掩膜条分类设备的掩膜条分类方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1、控制开孔量测机构对金属掩膜条的开孔位置进行量测,得到实际量测坐标;
步骤S2、通过得到的所述实际量测坐标与预设的基准量测坐标,计算得到量测因子;
步骤S3、若计算得到的所述量测因子大于预设的规格值,则控制掩膜条张力机构对金属掩膜条进行一次张力操作;
步骤S4、在一次张力操作结束后,执行步骤S1-S3,直至所述量测因子小于或等于预设的规格值时,执行步骤S5;
步骤S5、获取金属掩膜条当前的张力值,并根据所述张力值对金属掩膜条进行分类。
6.根据权利要求5所述的掩膜条分类方法,其特征在于,步骤S3具体为:
若计算得到的所述量测因子大于预设的规格值,且所述量测大于零,则控制掩膜条张力机构对金属掩膜条进行一次增大张力操作;
若计算得到的所述量测因子大于预设的规格值,且所述量测小于零,则控制掩膜条张力机构对金属掩膜条进行一次减小张力操作。
7.根据权利要求5所述的掩膜条分类方法,其特征在于,步骤S1具体为:控制开孔量测机构对金属掩膜条相对两端的边沿处的开孔位置进行量测,得到实际量测坐标。
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