[发明专利]一种掩膜条分类设备和掩膜条分类方法

说明书

本发明涉及掩膜条分类技术领域，特别涉及一种掩膜条分类设备和掩膜条分类方法，包括机架和移动机构，机架上设有掩膜载台，移动机构位于掩膜载台上方，掩膜载台靠近移动机构的一侧面上放置有掩膜条包装盒，掩膜条包装盒中放置有两个以上的金属掩膜条，相邻两个金属掩膜条之间设有无尘纸，通过在移动机构靠近掩膜载台的一侧面上连接有两个以上的吸附机构，机架一侧面的相对两端上分别设置掩膜条张力机构，在移动机构靠近掩膜载台的一侧面设置开孔量测机构，这样降低金属掩膜条张网收缩力对金属掩膜框的受力形变，实现张网良率和张网精度的改善，降低开孔位置的误差，从而降低后续蒸镀的混色等问题。

技术领域

本发明涉及掩膜条分类技术领域，特别涉及一种掩膜条分类设备和掩膜条分类方法。

背景技术

OLED显示面板具有厚度薄、功耗低、可弯曲及柔性显示等优势，近年来成为下一代面板显示器的发展趋势。

现有的OLED面板是在真空环境下利用蒸发源将有机材料加热后蒸发，有机材料透过金属掩膜板(Mask)上开孔位置定义玻璃基板上形成薄膜位置，成膜位置必须是玻璃基板上被指定的发光位置，玻璃基板的电流才能有效传入OLED器件发光，所以金属掩膜板开孔位置的精度极为重要；而金属掩膜板上开孔位置的精准度(一般手机屏幕的位置精度为±3μm)，主要取决于金属掩膜板的组装精度和金属掩膜条(一般一块掩膜板由6-8掩膜条组成)的开孔精度，而金属掩膜条(sheet)的开孔精度一般≥±15μm，其工艺制程精度远大于±3μm，这也是OLED的一大难题。

将金属掩膜条焊于掩膜框时，金属掩膜条会产生收缩力，导致金属掩膜板框(Frame)受力形变，从而导致金属掩膜板片上开孔位置向金属掩膜框的中心位置偏移。因此，位置精度要求高的组装掩膜板设备“张网机”需要有一组机构(CF：反作用力装置)预先施力于金属掩膜板框上，待焊接掩膜片于掩膜板框后将原先预施于掩膜板框上的力退出，即可避免掩膜板片上开孔位置向金属掩膜框的中心位置偏移。即CF的设计值与每条金属掩膜条的张力设计值是息息相关的，最终会实现相互抵消，防止金属掩膜板框进一步形变导致位置偏移。金属掩膜条厂商出货时，一般会对金属掩膜条按开孔位置精度的差异进行分类，而使用者在产品入料时，也不会进行精确的开孔位置分类。这就导致在张网环节过程中，每条金属掩膜条的实际张力值与设计值有较大差异，若每个金属掩膜条的实际张力均不同，多条金属掩膜条的收缩力之和无法与CF设计值进行抵消，则会产生更大的金属掩膜板框形变，导致开孔位置偏移，这也是OLED张网良率较低的原因之一。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种掩膜条分类设备和掩膜条分类方法。

为了解决上述技术问题，本发明采用的第一种技术方案为：

一种掩膜条分类设备，包括机架和移动机构，所述机架上设有掩膜载台，所述移动机构位于掩膜载台上方，所述掩膜载台靠近移动机构的一侧面上放置有掩膜条包装盒，所述掩膜条包装盒中放置有两个以上的金属掩膜条，相邻两个所述金属掩膜条之间设有无尘纸，所述移动机构靠近掩膜载台的一侧面上连接有两个以上的吸附机构，所述吸附机构被配置为对掩膜条包装盒中的金属掩膜条和无尘纸进行吸附；

所述机架一侧面的相对两端上分别设有掩膜条张力机构，所述掩膜条张力机构被配置为对金属掩膜条进行张力以使金属掩膜条的张力值等于预设张力值；

所述移动机构靠近掩膜载台的一侧面还设有开孔量测机构，所述开孔量测机构位于金属掩膜条上方。

本发明采用的第二种技术方案为：

一种基于掩膜条分类设备的掩膜条分类方法，包括以下步骤：

步骤S1、控制开孔量测机构对金属掩膜条的开孔位置进行量测，得到实际量测坐标；

步骤S2、通过得到的所述实际量测坐标与预设的基准量测坐标，计算得到量测因子；