[发明专利]压力检测系统有效
| 申请号： | 202011414407.0 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114603474B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 张正先 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B37/11;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力 检测 系统 | ||
1.一种压力检测系统，其特征在于，包括：
研磨手臂与受力层，所述受力层用于承受所述研磨手臂的压力；
研磨盘，固定于所述研磨手臂上，所述研磨手臂通过所述研磨盘向所述受力层施加压力；
基底和多个弹性体，多个所述弹性体固定于所述受力层和所述基底之间；
形变传感器，用于检测所述弹性体的形变量；
分析装置，用于根据所述形变传感器的检测结果以及所述弹性体的弹性系数获取所述受力层所承受的压力；
其中，所述受力层具有受力中心，在平行于所述受力层顶面的方向上，至少两个所述弹性体与所述受力中心的间距相等。
2.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，所述受力层包括研磨垫。
3.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，所述弹性体的个数大于等于3。
4.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，所述受力层内具有凹槽，所述凹槽用于容纳校正砝码，所述凹槽的中心为所述受力中心。
5.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，所述弹性体的中心轴线穿过所述受力中心。
6.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，所述分析装置还用于根据不同所述弹性体的形变量差值调整所述研磨手臂的平面位置和朝向。
7.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，在垂直于所述受力层表面的方向上，所述弹性体的正投影位于所述研磨盘的正投影内。
8.根据权利要求1所述的压力检测系统，其特征在于，多个所述弹性体的规格相同。
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