[发明专利]一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构在审
| 申请号： | 202011415031.5 | 申请日： | 2020-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN112556822A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 陈瑶;丁颖;苏向斌;倪海桥;陈鹏;赵涛 | 申请（专利权）人： | 南京信光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 鲍敬 |
| 地址： | 210001 江苏省南京市秦淮区中山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 薄膜 光栅 麦克风 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构，其特征在于，包括激光器、薄膜光栅、光电探测器，所述激光器设置于薄膜光栅一侧并向薄膜光栅提供光源，所述光电探测器设置于薄膜光栅另一侧用于接收激光器光源通过薄膜光栅后的衍射图样。
2.根据权利要求1所述的一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构，其特征在于，所述激光器、光电探测器相对设置于薄膜光栅中心处。
3.根据权利要求1所述的一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构，其特征在于，所述薄膜光栅的大小大于激光器、光电探测器截面大小。
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