[发明专利]一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构在审
申请号: | 202011415031.5 | 申请日: | 2020-12-05 |
公开(公告)号: | CN112556822A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 陈瑶;丁颖;苏向斌;倪海桥;陈鹏;赵涛 | 申请(专利权)人: | 南京信光半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 鲍敬 |
地址: | 210001 江苏省南京市秦淮区中山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 薄膜 光栅 麦克风 结构 | ||
本发明公开了一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构,包括激光器、薄膜光栅、光电探测器,所述激光器设置于薄膜光栅一侧并向薄膜光栅提供光源,所述光电探测器设置于薄膜光栅另一侧用于接收激光器光源通过薄膜光栅后的衍射图样,本发明将传统光麦克风的振动薄膜与衍射光栅相结合,利用薄膜有效形变影响光栅进而导致衍射光的变化,根据衍射光的变化计算出声波的振动情况,本发明结构比传统光麦克更加简单,计算声波幅度和频率的方法更为简便。
技术领域
本发明涉及光学器件领域,具体涉及一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构。
背景技术
传统光麦克风利用薄膜的反射光,经过光栅形成衍射,最终根据衍射光计算声波的信息,这样的结构复杂,而且计算相对困难;相对于传统麦克风,光麦克风有灵敏度更高,探测范围更广的优势,是未来麦克风发展的主要趋势;基于各种类型的光麦克风,主要分为带有薄膜类型和无薄膜类型;相对于传统的薄膜类型光麦克风,新型的薄膜光栅麦克风,有着结构简单,抗干扰能力强,灵敏度更高等优势,因此,设计一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构是相关领域内技术人员急需解决的问题。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供的技术方案为:一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构,包括激光器、薄膜光栅、光电探测器,所述激光器设置于薄膜光栅一侧并向薄膜光栅提供光源,所述光电探测器设置于薄膜光栅另一侧用于接收激光器光源通过薄膜光栅后的衍射图样。
作为改进,所述激光器、光电探测器相对设置于薄膜光栅中心处。
作为改进,所述薄膜光栅的大小大于激光器、光电探测器截面大小。
采用以上结构后,本发明具有如下优点:本发明将传统光麦克风的振动薄膜与衍射光栅相结合,利用薄膜有效形变影响光栅进而导致衍射光的变化,根据衍射光的变化计算出声波的振动情况,本发明结构比传统光麦克更加简单,计算声波幅度和频率的方法更为简便。
附图说明
图1是本发明一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构的结构示意图。
图2是本发明一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构中薄膜光栅的结构示意图。
如图所示:1、激光器,2、薄膜光栅,3、光电探测器。
具体实施方式
结合附图,一种基于薄膜型光栅的光麦克风结构,包括激光器1、薄膜光栅2、光电探测器3,所述激光器1设置于薄膜光栅2一侧并向薄膜光栅2提供光源,所述光电探测器3设置于薄膜光栅2另一侧用于接收激光器1光源通过薄膜光栅2后的衍射图样。
作为本实施例较佳实施方案的是,所述激光器1、光电探测器3相对设置于薄膜光栅2中心处。
作为本实施例较佳实施方案的是,所述薄膜光栅2的大小大于激光器1、光电探测器3截面大小。
本发明在具体实施时,首先,将薄膜光栅装置安放在声源附近,声波的震动引起薄膜光栅的有效震动并发生形变;然后,激光器发出的光源通过不同形变量的薄膜光栅时,衍射图样发生变化;最终探测器探测到不同的衍射光,经过运算,最终得出声波的频率与振幅。
以上对本发明及其实施方式进行了描述,这种描述没有限制性,附图中所示的也只是本发明的实施方式之一,实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示,在不脱离本发明创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本发明的保护范围。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京信光半导体科技有限公司,未经南京信光半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011415031.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。