[发明专利]一种氮化镓单晶生长装置

权利要求书

1.一种氮化镓单晶生长装置，包括底座（1）、壳体（2）、加热阻丝（4）和塞盖（7），其特征在于：底座（1）的顶端固定连接有壳体（2），且壳体（2）外侧的内部设置有加热阻丝（4），所述壳体（2）内部的顶端固定连接有筒体（5），且筒体（5）内部与壳体（2）顶端之间的两侧分别设置有升降结构（6），所述筒体（5）与壳体（2）之间的两侧分别设置有遮挡结构（3），所述壳体（2）顶端的内部活动连接有塞盖（7），所述壳体（2）顶端的一侧设置有排气结构（8），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的顶端固定连接有进水管（9），所述壳体（2）与筒体（5）一侧之间的底端固定连接有出水管（11），且出水管（11）与进水管（9）之间穿过筒体（5）的内壁固定连接有螺旋盘管（10），所述壳体（2）底端的四个拐角处分别固定连接有支柱（15），所述壳体（2）内部的底端活动连接有加热台（16），且加热台（16）的底端穿过壳体（2）的内壁与底座（1）固定连接有伺服电机（17），所述加热台（16）的顶端固定连接有坩埚（14），且坩埚（14）与壳体（2）的一侧之间分别设置有进料结构（12），所述壳体（2）与坩埚（14）内部的一端之间分别设置有搅拌结构；

所述搅拌结构包括固定块（13），所述固定块（13）分别固定连接在壳体（2）内侧两端的底部，所述固定块（13）一端的底部活动连接有转杆（19），且转杆（19）的内部设置有多组滚动腔室（20），所述滚动腔室（20）的内部活动连接有刷杆（21），所述坩埚（14）内部的底端活动连接有扫杆（18）；

所述遮挡结构（3）由空心筒（301）、卡块（302）、活动杆（303）、限位块（304）、弹簧轴（305）和挡板（306）组成，所述空心筒（301）分别固定连接在壳体（2）内部顶端中间位置处的两侧，所述空心筒（301）的内部穿过壳体（2）的内壁活动连接有活动杆（303），且活动杆（303）的底端固定连接有限位块（304），所述卡块（302）分别固定连接在塞盖（7）的两侧，所述挡板（306）底端的两侧分别设置有挡板（306），且挡板（306）与筒体（5）的一端之间活动连接有弹簧轴（305）；

所述升降结构（6）由收卷盘（601）、定位板（602）、拨块（603）、绳索（604）、导向轮（605）、摇杆（606）和网框（607）组成，所述网框（607）活动连接在筒体（5）的内部，所述收卷盘（601）分别固定连接在壳体（2）外部顶端的两侧，所述收卷盘（601）两端之间的顶部固定连接有定位板（602），且定位板（602）的一端活动连接有拨块（603），所述收卷盘（601）的一端固定连接有摇杆（606），所述导向轮（605）分别固定连接在壳体（2）外部顶端中间位置处的两侧，所述收卷盘（601）与网框（607）之间穿过导向轮（605）固定连接有绳索（604）；

所述排气结构（8）由出气管（801）、连接块（802）、通槽（803）、警示块（804）、滤框（805）、活性炭颗粒（806）和滑槽（807）组成，所述出气管（801）固定连接在壳体（2）外部顶端的一侧，所述出气管（801）内部的底端设置有滑槽（807），且滑槽（807）的内部活动连接有滤框（805），所述滤框（805）的内部固定连接有活性炭颗粒（806），所述出气管（801）内侧的中间位置处设置有连接块（802），且连接块（802）的内部设置有多组通槽（803），所述通槽（803）的内部活动连接有警示块（804）；

所述进料结构（12）由送料筒（1201）、空腔（1202）、收纳槽（1203）、密封圈（1204）和折叠板（1205）组成，所述收纳槽（1203）分别设置在壳体（2），所述收纳槽（1203）的一侧设置还有密封圈（1204），所述收纳槽（1203）内部的顶端活动连接有送料筒（1201），所述空腔（1202）分别设置在坩埚（14）两侧顶端的内部，所述空腔（1202）内部的顶端固定连有折叠板（1205）。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述活动杆（303）嵌在空心筒（301）的内部，所述活动杆（303）与空心筒（301）呈同心圆排列。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓单晶生长装置，其特征在于：所述收卷盘（601）、导向轮（605）关于筒体（5）的垂直中分线对称分布。