[发明专利]缺陷扫描机台的自动监控系统及方法

权利要求书

1.一种缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，包括：

数据收集模块，其与所有的缺陷扫描机台进行通讯连接，用于获取各缺陷扫描机台的缺陷扫描信息；

设置模块，用于设定对所述数据收集模块收集的所述缺陷扫描信息进行监控的查询条件；

查询模块，其根据所述设置模块设定的所述查询条件对所述数据收集模块收集的所述缺陷扫描信息进行查询并筛选出满足所述查询条件的缺陷扫描机台；

分析模块，用于对所述查询模块筛选出的所述缺陷扫描机台对应的所述缺陷扫描信息进行处理；

判断模块，其根据所述分析模块的处理结果判断缺陷扫描机台的运行状态，并根据各缺陷扫描机台的运行状态决定是否触发警报。

2.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述查询条件包括缺陷扫描机台的扫描率、缺陷扫描机台检测的产品及产品类型、产品批次、晶圆编号信息、扫描率发生连续异常的时间。

3.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述缺陷扫描信息包括扫描产品批次、扫描产品类型、扫描对应的时间段、过货产品批次的上限及下限信息。

4.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述系统还包括：

数据库，用于存储所述数据收集模块获取到的所述缺陷扫描信息。

5.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述系统还包括：

数据处理模块，其对所述数据收集模块获取到的所述缺陷扫描信息进行数据清洗、数据分类、数据筛选预处理，并汇总各部门对应的缺陷扫描机台的扫描率信息。

6.根据权利要求1所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述分析模块对所述查询模块筛选出的所述缺陷扫描机台对应的所述缺陷扫描信息进行统计汇总，确定各缺陷扫描机台的扫描率信息。

7.根据权利要求6所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，当所述缺陷扫描机台的所述扫描率低于标准阈值或者在设定时间内所述扫描率连续低于设置值时，所述判断模块判定所述缺陷扫描机台处于异常状态，同时触发警报。

8.一种缺陷扫描机台的自动监控方法，其用于监控在线缺陷扫描的所有缺陷扫描机台，其特征在于，所述自动监控方法包括：

获取进行在线缺陷扫描的所有缺陷扫描机台的缺陷扫描信息；

获取用户设置的查询条件，并根据用户设置的查询条件对所述缺陷扫描信息进行监控；

筛选出满足所述查询条件的所述缺陷扫描信息对应的缺陷扫描机台；

对筛选出的所述缺陷扫描信息进行统计汇总，确定对应的所述缺陷扫描机台的扫描率信息；

根据所述扫描率信息判断所述缺陷扫描机台的运行状态，并根据各缺陷扫描机台的运行状态决定是否触发警报。

9.根据权利要求8所述的缺陷扫描机台的自动监控方法，其特征在于，当所述缺陷扫描机台的所述扫描率低于标准阈值或者在设定时间内所述扫描率连续低于设置值时，判定所述缺陷扫描机台处于异常状态，同时触发警报。

10.根据权利要求8所述的缺陷扫描机台的自动监控系统，其特征在于，所述缺陷扫描信息包括扫描产品批次、扫描产品类型、扫描对应的时间段、过货产品批次的上限及下限信息。