[发明专利]辨别非（100）面氧化镓晶体有无孪晶的HRXRD测试方法

权利要求书

1.一种辨别非（100）面氧化镓晶体有无孪晶的HRXRD测试方法，其特征在于，步骤如下：

a.将非（100）面氧化镓晶体（2）放置在HRXRD设备的样品台（1）上，使其边缘与x轴重合，并且[010]晶向平行于X轴方向；

b.将入射狭缝宽度设为10mm~13mm，保证测试区域尽可能大；

c.将2θ设定为31.738°，对应晶面为（002），因为（002）面的峰强明显大（001）面，在测试过程中更容易检测到；

d.以[010]晶向为轴，将样品从0°旋转至90°，旋转步长设定为0.1°~0.3°，记录（002）面衍射峰个数，样品台1复位，然后以原点为中心，在X-Y平面上旋转180°，再以[010]晶向为轴，将样品从0°旋转至90°，旋转步长设定为0.1°~0.3°，记录（002）面衍射峰个数；

e.如果上述过程中，只探测到1个（002）面衍射峰，则判定测试区域内无孪晶，若探测到多个（002）面衍射峰，则判定测试区域内有孪晶，因为生长面与孪晶面沿（100）面对称，且与（001）面呈不同的夹角，分别用α1和α2表示，若测试区域内有孪晶，则当样品台（1）旋转至α1和α2时，均会出现衍射峰，若测试区域内无孪晶，则只有当样品台（1）旋转至α1时会出现衍射峰；

f.将样品台（1）复位，以狭缝宽度为步长、沿y轴移动样品，重复d~e，直至测试区域覆盖整个晶体，因为氧化镓晶体中孪晶是沿[010]方向贯穿的，若沿y轴方向移动样品，所有测试区域均无孪晶，则可以判定该晶体中不存在孪晶。