[发明专利]一种真空溅射缝隙测量装置

权利要求书

1.一种真空溅射缝隙测量装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的一侧设置有活动板（3），所述工作台（1）的上端设置有测量装置（2），所述测量装置（2）上端的中间位置处安装有滑轨（10），所述滑轨（10）的外部安装有调节外壳（4），且调节外壳（4）与滑轨（10）滑动连接，所述调节外壳（4）靠近活动板（3）的一端固定设置有位移机构（5），所述位移机构（5）的一侧安装有红外测距传感器（6），所述测量装置（2）的一侧固定设置有水平机构（18），所述工作台（1）下端的四角处均设置有底座（11），所述测量装置（2）一侧的上端设置有刻度标（12）。

2.根据权利要求1所述的一种真空溅射缝隙测量装置，其特征在于：所述位移机构（5）的内部安装有丝杠（16），且丝杠（16）的一端与位移机构（5）通过轴承转动连接，所述位移机构（5）的一侧固定安装有伺服电机（15），且伺服电机（15）的输出轴与丝杠（16）的另一端通过联轴器传动连接，所述红外测距传感器（6）的后端与丝杠（16）通过螺纹配合。

3.根据权利要求2所述的一种真空溅射缝隙测量装置，其特征在于：所述红外测距传感器（6）前端的两侧分别设置有红外信号发射器（21）和接收二极管（22），所述测量装置（2）上端的一侧安装有显示屏（14），且显示屏（14）与红外测距传感器（6）电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空溅射缝隙测量装置，其特征在于：所述测量装置（2）的内部设置有调节腔（9），所述调节腔的内部安装有齿轮（8），且齿轮（8）的一端与测量装置（2）通过转轴转动连接，所述调节外壳（4）的内部设置有齿槽（7），且齿槽（7）位于滑轨（10）之间的上端，所述齿槽（7）与齿轮（8）啮合连接，所述测量装置（2）一侧的中间位置处安装有调节轮（13），且调节轮（13）的一端与齿轮（8）的另一侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空溅射缝隙测量装置，其特征在于：所述水平机构（18）的内部设置有线绳（19），所述线绳（19）的下端固定设置有指示标（20）。

6.根据权利要求1所述的一种真空溅射缝隙测量装置，其特征在于：所述底座（11）的内部均安装有活动块（17），且活动块（17）的下端延伸至底座（11）的下方，所述活动块（17）与底座（11）通过螺纹配合。