[发明专利]驱动结构及芯片检测设备

权利要求书

1.一种驱动结构，其特征在于，包括：

第三底座；

移动平台，所述移动平台用于承载芯片；

第一驱动件，所述第一驱动件的壳体位于所述第三底座上；

第二驱动件，所述第二驱动件的壳体位于所述第一驱动件的输出端上，所述移动平台位于所述第二驱动件的输出端上；

所述第一驱动件用于驱动所述移动平台围绕所述移动平台的轴线转动，所述第二驱动件用于改变所述移动平台相对所述第三底座的高度。

2.根据权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，还包括导向座和驱动滑块，所述导向座位于所述第一驱动件的输出端上，所述导向座上设有沿所述第二驱动件的输出端运动方向设置的第八轨道，所述驱动滑块能够沿着所述第八轨道移动，所述第八轨道与所述移动平台相连接。

3.根据权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，所述移动平台远离所述第一驱动件的一侧设有若干个吸附孔，所述移动平台还设有通道和通气开口，所述通气开口用于与负压装置相连接，所述通道与所述通气开口相连通，且所述通道能够与所有所述吸附孔相连通。

4.根据权利要求2所述的驱动结构，其特征在于，还包括驱动连接板和调整螺钉，所述驱动连接板能够分别与所述驱动滑块和所述移动平台相连接，所述调整螺钉的工作部能够贯穿所述驱动连接板并与所述调整板连接。

5.根据权利要求1所述的驱动结构，其特征在于，还包括转动限制结构，所述转动限制结构包括限位柱和挡块，所述限位柱连接于所述第三底座，所述挡块位于所述第二驱动件的输出端上。

6.根据权利要求5所述的驱动结构，其特征在于，所述挡块相对所述限位柱的一侧设有防护垫。

7.根据权利要求5所述的驱动结构，其特征在于，所述转动限制结构包括两个所述限位柱和两个所述挡块，分别为第一限位柱、第二限位柱、第一挡块和的第二挡块，所述第一挡块与所述第一限位柱相对应，所述第二挡块和所述第二限位柱相对应，所述第一挡块和所述第二挡块能够在所述第一限位柱和所述第二限位柱形成的角度范围内移动。

8.根据权利要求7所述的驱动结构，其特征在于，还包括行程开关，所述行程开关包括第一识别装置、第二识别装置和驱动识别结构，所述驱动识别结构连接于所述第一驱动件的输出端，所述第一识别装置和所述第二识别装置均连接于所述第三底座，所述第一识别装置和所述第一驱动件电连接，所述第二识别装置和所述第一驱动件电连接。

9.根据权利要求2所述的驱动结构，其特征在于，还包括编码器，所述编码器与所述导向座连接，且临近所述第八轨道设置。

10.一种芯片检测设备，其特征在于，包括探针和如权利要求1至9中任意一项所述的驱动结构，探针用于对位于所述移动平台上的芯片进行检测。