[发明专利]驱动结构及芯片检测设备

说明书

本发明公开了一种驱动结构。驱动结构包括第三底座、移动平台、第一驱动件和第二驱动件，移动平台用于承载芯片，第一驱动件的壳体位于所述第三底座上，第二驱动件的壳体位于第一驱动件的输出端上，移动平台位于第二驱动件的输出端上，第一驱动件用于驱动移动平台围绕移动平台的轴线转动，第二驱动件用于改变移动平台的高度。由于第二驱动件位于第一驱动件的输出端上，第二驱动件的输出端上的负载可以被有效的降低，当需要改变移动平台的高度时，第二驱动件可以高速移动，以快速地调整移动平台的高度。

技术领域

本发明涉及芯片检测技术领域，尤其公开了一种驱动结构及芯片检测设备。

背景技术

在芯片检测领域一般需要通过R轴驱动件和Z轴驱动件来调整芯片的位置，从而达到对芯片进行检测的目的，在相关技术中，一般都是通过Z轴带动R轴进行运动，但是这样会使得Z轴的负载过大，无法使得Z轴驱动件高速移动，从而影响检测速度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种驱动结构，能够降低第二驱动件的负载，提高移动平台在高度方向上的移动速度。

本发明公开了一种驱动结构，包括：

第三底座；

移动平台，所述移动平台用于承载芯片；

第一驱动件，所述第一驱动件的壳体位于所述第三底座上；

第二驱动件，所述第二驱动件的壳体位于所述第一驱动件的输出端上，所述移动平台位于所述第二驱动件的输出端上；

所述第一驱动件用于驱动所述移动平台围绕所述移动平台的轴线转动，所述第二驱动件用于改变所述移动平台相对所述第三底座的高度。

根据本发明实施例的驱动结构，至少具有如下有益效果：由于第二驱动件位于第一驱动件的输出端上，第一驱动件连接于第三底座，第二驱动件不需要负载用于驱动移动平台转动的第一驱动件，所以第二驱动件的输出端上的负载可以被有效地降低，当需要改变移动平台的高度时，第二驱动件可以高速移动，以快速地调整移动平台的高度。

根据本发明的一些实施例，还包括导向座和驱动滑块，所述导向座位于所述第一驱动件的输出端上，所述导向座上设有沿所述第二驱动件的输出端运动方向设置的第八轨道，所述驱动滑块能够沿着所述第八轨道移动，所述第八轨道与所述移动平台相连接。

根据本发明的一些实施例，所述移动平台远离所述第一驱动件的一侧设有若干个吸附孔，所述移动平台还设有通道和通气开口，所述通气开口用于与负压装置相连接，所述通道与所述通气开口相连通，且所述通道能够与所有所述吸附孔相连通。

根据本发明的一些实施例，还包括驱动连接板和调整螺钉，所述驱动连接板能够分别与所述驱动滑块和所述移动平台相连接，所述调整螺钉的工作部能够贯穿所述驱动连接板并与所述调整板连接。

根据本发明的一些实施例，还包括转动限制结构，所述转动限制结构包括限位柱和挡块，所述限位柱连接于所述第三底座，所述挡块位于所述第二驱动件的输出端上。

根据本发明的一些实施例，所述挡块相对所述限位柱的一侧设有防护垫。

根据本发明的一些实施例，所述转动限制结构包括两个所述限位柱和两个所述挡块，分别为第一限位柱、第二限位柱、第一挡块和的第二挡块，所述第一挡块与所述第一限位柱相对应，所述第二挡块和所述第二限位柱相对应，所述第一挡块和所述第二挡块能够在所述第一限位柱和所述第二限位柱形成的角度范围内移动。

根据本发明的一些实施例，还包括行程开关，所述行程开关包括第一识别装置、第二识别装置和驱动识别结构，所述驱动识别结构连接于所述第一驱动件的输出端，所述第一识别装置和所述第二识别装置均连接于所述第三底座，所述第一识别装置和所述第一驱动件电连接，所述第二识别装置和所述第一驱动件电连接。