[发明专利]一种飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构的双参数测试方法在审

专利信息
申请号: 202011431471.X 申请日: 2020-12-07
公开(公告)号: CN112762983A 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 张雯;祝连庆;何巍;董明利;李红;庄炜;何彦霖 申请(专利权)人: 北京信息科技大学
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;G01K11/32;G01N21/45;G02B6/02;G02B6/255
代理公司: 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11416 代理人: 王琦;庞立岩
地址: 100085 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 lfpg 结合 光纤 mzi 结构 参数 测试 方法
【说明书】:

发明本发明涉及飞秒激光直写长周期光纤光栅(Long Period Fiber Grating,LPFG)结合光纤马赫曾德干涉仪(Mach‑Zehnder Interferometer,MZI)结构的双参数测试方法。该传感器主要由电弧放电制备的纤芯失配型光纤MZI结构和飞秒激光直写制备的LPFG组成,可实现温度和折射率的同时测量。采用本发明提供的技术方案制作的飞秒激光直写LPFG结合光纤MZI为全光纤结构,可避免电磁干扰,耐高温,可实现温度和折射率的同时测量。同时,其结构及制作工艺简单,可靠性好、灵敏度高。

技术领域

本发明属于光纤传感器件领域,特别涉及一种飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构的双参数测试方法。

背景技术

光纤传感器具有诸多优良特性,可实现复杂环境下的测量工作具有非常广泛的应用价值。它具有抗电磁干扰、抗辐射、灵敏度高、重量轻、绝缘防爆、耐腐蚀等特点,且光纤尺寸微小,具有良好的光传输性能。长周期光纤光栅(Long Period Fiber Grating,LPFG)是常见的传感器件,具有结构简单、体积小、动态范围大、灵敏度高等优势,在航空航天、桥梁水利、周界安防、生物医学等重要领域中受到广泛关注。

然而,如何改变传统光纤LPFG传感器单点检测的局限性、扩展检测对象范围,是光纤传感器的发展方向。通过电弧放电制备纤芯失配型光纤MZI结构,纤芯传播的光和包层传播的光之间存在光程差而产生干涉。随着外界溶液折射率的增加,包层模的有效折射率将增加,而纤芯模的有效折射率不变,导致原干涉谱产生漂移。通过飞秒激光直写LPFG结合光纤MZI结构干涉谱的变化,即可实现外界溶液折射率的传感。采用电弧放电制备纤芯失配型光纤MZI结构,并在纤芯失配结构上使用飞秒激光直写制备LPFG,将两种光纤结构结合进行测量,避免多参数测量时的交叉干扰,实现温度和折射率的双参数测量。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构的双参数测试方法,提供的技术方案制作的飞秒激光直写LPFG结合光纤MZI为全光纤结构,可避免电磁干扰,耐高温,可实现温度和折射率的同时测量。同时,其结构及制作工艺简单,可靠性好、灵敏度高,增加装置的适用性。

为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:一种飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构制备方法,所述方法包括以下步骤:

(a)制备纤芯失配型光纤MZI结构,步骤a1、将两段SMF-28单模光纤端面去除涂覆层,经酒精擦拭后切平,置于熔接机内,采用纤芯对准方式,将光纤两端纤芯错位熔接后取出;步骤a2、一定长度后再次去除涂覆层并擦拭切平,置于熔接机内,再次错位熔接,得到纤芯失配型光纤MZI结构;

(b)飞秒激光制备长周期光纤光栅,步骤b1、将所述纤芯失配型光纤MZI结构置于三维移动平台上,保证视野清晰,将飞秒激光光斑聚焦至纤芯;步骤b2、采用直写方式在所述纤芯失配型光纤MZI结构上制备长周期光纤光栅,得到光纤传感器。

优选的,所述单模光纤型号为SFM-28的普通单模光纤,包层直径125um,纤芯直径9um。

一种飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构的双参数测试方法,所述方法具体包括以下步骤:步骤301、将飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构置于加热台表面,通过光纤环行器与光源、光谱分析仪相连;步骤302、通过改变所述加热台温度改变所述飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构温度;步骤303、通过胶头滴管将待测液体滴于所述飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构表面,用于进行折射率传感测试;步骤304、所述光纤环行器将所述飞秒激光直写LFPG结合光纤MZI结构的透射光谱输至所述光谱分析仪进行反射光谱采集。

优选地,当外界温度发生变化,透射光谱谱线会发生漂移。

优选的,所述光源采用波段范围为1520-1610nm的ASE光源。

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