[发明专利]用于FOSB运输的旋转升降平移传送带

说明书

本发明公开了一种用于FOSB运输的旋转升降平移传送带，包括升降装置、平移装置和旋转装置，升降装置包括抬升气缸和抬升气缸转接板，抬升气缸转接板固定在抬升气缸的正上方的输出头上；旋转装置包括轴承座、旋转主轴、电机安装板、旋转主动轮、旋转电机、旋转从动轮、旋转同步带、主轴法兰和上端平板，平移装置包括前转轴、后转轴、左侧板、右侧板、第一轴套、第一螺纹齿轮、连接环、平移从动轮、平移主动轮、平移电机、平移同步带、主动轴、第二螺纹齿轮、传动链轮和链条传送带；本发明整体结构简单紧凑，能够实现FOSB传输时的提升、旋转和平移，适用于FOSB包装生产线之间的FOSB运输，占地空间小，应用范围广。

技术领域

本发明涉及FOSB运输领域，更具体的说，尤其涉及一种用于FOSB运输的旋转升降平移传送带。

背景技术

晶圆指的是硅半导体集成电路所制成的硅芯片，由于其形状为圆形，故被称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义上的晶圆基本上指的是单晶硅圆片，单晶归元片由普通硅砂垃制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一些列错失后支撑单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后就成了晶圆。随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增加，要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和清洁度，而为了实现晶圆表面的平整度、光滑度和清洁度，其运输过程中必然不能像普通设备一样随意包装，因此采用专用的晶圆包装盒就显得尤为必要。

FOSB(Front Opening Shipping Box)，全称前开式晶圆运输盒，即为一种专用于晶圆运输的包装盒。前开式晶圆运输盒可保护、运输并存储晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生摩擦或碰撞，为晶圆运输传输及储存时提供安全防护。前开式晶圆运输盒的气密度很好，能够有效防止物质的产生。

现有的前开式晶圆运输盒在存储运输前都需要进行包装操作，目前的晶圆包装基本都采用人工包装，整个包装过程包括包装袋整形并放入前开式晶圆运输盒、对包装袋进行热真空热封、包装袋再整形、包装袋表面缠绕胶带和贴标签这五个步骤，这些步骤若是人工手动包装效率十分缓慢，且包装精度不一样，而若是采用生产线自动化进行包装的话，FOSB在各个工位之间的流转需要使用传送带来进行，而FOSB独有的结构导致其在包装时往往需要毕竟精确的位置，因此在不同的工位进行移动时往往需要不同的传输方式，这样会给整个生产线的设计带来困难；由于FOSB在包装时在生产线上的运输存在升降、平移和旋转三个方面的需求，设计多个结构来满足FOSB包装时的运输需求往往非常麻烦，因此设计一种用于FOSB运输的旋转升降平移传送带显得尤为必要。

发明内容

本发明的目的在于解决FOSB包装时各个工位之间的运输需要采用多个系统来实现FOSB的升降、平移和旋转导致的整个装置过于庞大的问题，提出了一种用于FOSB运输的旋转升降平移传送带，能够实现FOSB的水平移动、竖直升降和旋转运动，且整体设计在FOSB下方，结构小巧，满足FOSB运输的同时满足升降和旋转的需求，不会与前后工位的其他功能产生干涉。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：一种用于FOSB运输的旋转升降平移传送带，包括升降装置、平移装置和旋转装置，所述升降装置包括抬升气缸和抬升气缸转接板，抬升气缸转接板固定在抬升气缸的正上方的输出头上，抬升气缸工作时驱动所述抬升气缸转接板上下运动；

所述旋转装置包括轴承座、旋转主轴、电机安装板、旋转主动轮、旋转电机、旋转从动轮、旋转同步带、主轴法兰和上端平板，所述轴承座竖直固定在抬升气缸转接板上，旋转主轴的下端通过两个轴承竖直安装在轴承座内；电机安装板固定在所述轴承座上，电机安装板的中部设置有供旋转主轴穿过的通孔；旋转从动轮通过键固定在旋转主轴上，旋转电机固定在轴承座一侧的电机安装板上，旋转电机的输出端连接旋转主动轮，旋转主动轮和旋转从动轮通过旋转同步带连接，旋转电机工作时通过旋转主动轮、旋转同步带和旋转从动轮构成的同步带机构带动旋转主轴的转动，进而带动固定在旋转主轴上方的上端平板的转动；