[发明专利]一种用于硅片清洗的花篮晃动装置

权利要求书

1.一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，包括外壳（1），所述外壳（1）的内部底面固定安装有电机（2），且电机（2）的输出端卡接安装有转动轴（3），所述外壳（1）的开口处固定安装有密封板（4），所述转动轴（3）的一端贯穿密封板（4），所述密封板（4）的上方安装有全角度晃动板（6），且全角度晃动板（6）的上方安装有两组形变弹簧钢带（7），所述外壳（1）的下端侧壁固定套接安装有环状安装板（8），所述全角度晃动板（6）与环状安装板（8）之间安装有铁片抖液管（9），所述全角度晃动板（6）的下部设置有球窝（12）和四组伸缩弹簧（14），所述球窝（12）的内部滚动安装有球头（13），且球头（13）的侧壁固定安装有支撑杆（5），并且支撑杆（5）的一端与转动轴（3）的一端固定连接，所述球窝（12）开口处的横截面尺寸小于球头（13）的最大横截面尺寸；四组所述伸缩弹簧（14）的外部侧壁均套接安装有伸缩软管（15），四组所述伸缩弹簧（14）和四组所述伸缩软管（15）的一端安装有环状T型滑板（16），且环状T型滑板（16）的下部设置有若干组内置球槽（17），并且若干组所述内置球槽（17）的内部均滚动安装有滚球（18），所述密封板（4）的上部设置有第一环状T型滑槽（19），所述环状T型滑板（16）位于第一环状T型滑槽（19）的内部，所述密封板（4）与全角度晃动板（6）的相向面均固定安装有抵触头（20）。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，四组所述伸缩弹簧（14）的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管（15）的最小横截面长度。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述全角度晃动板（6）的侧壁固定安装有两组伸缩杆（21），且两组所述伸缩杆（21）的一端均固定安装有固定板（22），两组所述形变弹簧钢带（7）的两端分别贯穿两组所述固定板（22），两组所述形变弹簧钢带（7）的两端均固定套接安装有螺纹管（24），且两组所述螺纹管（24）的外部侧壁均套接安装有紧固管（25），并且两组所述紧固管（25）的相向端分别与两组所述固定板（22）的远离端紧密接触，两组所述紧固管（25）的内部侧壁设置有内螺纹（10），两组所述形变弹簧钢带（7）的相向端均设置有锯齿（23）。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，两组所述内螺纹（10）与两组所述螺纹管（24）相互啮合。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述全角度晃动板（6）与环状安装板（8）的相向面均设置有第二环状T型滑槽（26），两组所述第二环状T型滑槽（26）的相向端均设置有两组操作孔（34），所述铁片抖液管（9）的两端分别位于两组所述第二环状T型滑槽（26）的内部，所述铁片抖液管（9）的两端侧壁分别设置有两组内置凸型槽（27），且四组所述内置凸型槽（27）的内部端部均固定安装有复位弹簧（28），并且四组所述复位弹簧（28）的一端均固定安装有抵触杆（29），四组所述抵触杆（29）的一端均固定安装有抵触板（30），四组所述抵触板（30）的一端分别与两组所述第二环状T型滑槽（26）的内部侧壁接触。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，四组所述复位弹簧（28）均处于压缩状态。

7.根据权利要求5所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，两组所述第二环状T型滑槽（26）均位于同一垂直线上。

8.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，其特征在于，所述环状安装板（8）的上部设置有四组安装孔（11）。