[发明专利]一种用于硅片清洗的花篮晃动装置

说明书

本发明公开了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴。有益效果：本发明通过全角度晃动板，当电机开始工作时，带动转动轴和支撑杆做同步运动，由于球头与全角度晃动板之间摩擦力较大，因此旋转的支撑杆带动全角度晃动板同步旋转，旋转的全角度晃动板会使两组抵触头发生碰撞，全角度晃动板纵向晃动，此时四组伸缩弹簧会发生形变，四组伸缩弹簧带动全角度晃动板进行复位，当两组抵触头再次发生碰撞，使全角度晃动板继续纵向旋转晃动，重复旋转使用时，全角度晃动板始终带动花篮晃动，通过设置的全角度晃动板，可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动。

技术领域

本发明涉及硅片清洗晃动技术领域，具体来说，涉及一种用于硅片清洗的花篮晃动装置。

背景技术

硅片是一种微电子技术，硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力，无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你，主要应用在航空、航天、工业、农业、国防和家庭等领域，当硅片外部灰尘聚集较多时时，需要使用花篮配合清洁剂和晃动装置进行清洗。

然而现有的一种用于硅片清洗的花篮晃动装置应用时存在以下问题：无法使用一组电机使花篮完成全角度晃动，传统的晃动装置需要使用多种动力装置相互配合，完成花篮的全方位晃动，长时间使用时会增加硅片的清洗成本，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的晃动使用带来资源的浪费，其次，花篮的侧壁形状多种多样，传统的连接结构无法适应多种规格花篮的连接，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的连接使用带来局限性，最后，传统的用于硅片清洗的花篮晃动装置侧壁沾染的清洁剂，需要操作工人手动清洁，为用于硅片清洗的花篮晃动装置的清洁使用带来不便。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，具备可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述可配合使用一组电机，完成花篮的全角度晃动、同种连接结构可适应多种规格花篮的连接、用于硅片清洗的花篮晃动装置表面沾染的清洁剂无需手动清洁的优点，本发明采用的具体技术方案如下：

一种用于硅片清洗的花篮晃动装置，包括外壳，所述外壳的内部底面固定安装有电机，且电机的输出端卡接安装有转动轴，所述外壳的开口处固定安装有密封板，所述转动轴的一端贯穿密封板，所述密封板的上方安装有全角度晃动板，且全角度晃动板的上方安装有两组形变弹簧钢带，所述外壳的下端侧壁固定套接安装有环状安装板，所述全角度晃动板与环状安装板之间安装有铁片抖液管，所述全角度晃动板的下部设置有球窝和四组伸缩弹簧，所述球窝的内部滚动安装有球头，且球头的侧壁固定安装有支撑杆，并且支撑杆的一端与转动轴的一端固定连接，所述球窝开口处的横截面尺寸小于球头的最大横截面尺寸。

进一步的，四组所述伸缩弹簧的外部侧壁均套接安装有伸缩软管，四组所述伸缩弹簧和四组所述伸缩软管的一端安装有环状T型滑板，且环状T型滑板的下部设置有若干组内置球槽，并且若干组所述内置球槽的内部均滚动安装有滚球，所述密封板的上部设置有第一环状T型滑槽，所述环状T型滑板位于第一环状T型滑槽的内部，所述密封板与全角度晃动板的相向面均固定安装有抵触头。

进一步的，四组所述伸缩弹簧的最大横截面长度小于四组所述伸缩软管的最小横截面长度。