[发明专利]一种多用途的掩膜式光面光刻机在审
申请号: | 202011443221.8 | 申请日: | 2020-12-08 |
公开(公告)号: | CN112558425A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 刘烽 | 申请(专利权)人: | 江西舜源电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 337000 江西省萍乡*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多用途 掩膜式 光面 光刻 | ||
1.一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,包括光刻台(1)和伺服移动台(2),所述光刻台(1)顶面安装有伺服移动台(2),且伺服移动台(2)顶面安装有晶圆放置板(3),所述伺服移动台(2)外侧对角线处固定安装有轨道(4),且轨道(4)内部滑动连接有第二滑块(21),并且第二滑块(21)顶面竖向固定安装有捻锁伸缩杆(7),所述捻锁伸缩杆(7)的顶端固定套接有固定环(8),且固定环(8)一侧表面横向固定连接有外杆(13),并且外杆(13)内部插接有内杆(11),所述内杆(11)一端通过弹簧(24)与外杆(13)内壁固定连接,且内杆(11)另一端固定安装有固定框(10),并且固定框(10)顶面中心位置贯穿螺纹连接有第二手柄螺栓(16),所述第二手柄螺栓(16)底面通过旋转连接座(17)转动连接有压板(18),且压板(18)底面粘接有硅胶垫(19),所述轨道(4)内部贯穿螺纹连接有第一手柄螺栓(5),且第一手柄螺栓(5)一端与轨道(4)一端转动连接,并且第一手柄螺栓(5)另一端贯穿轨道(4)另一端,所述第一手柄螺栓(5)贯穿第二滑块(21)并与第二滑块(21)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述轨道(4)和第二滑块(21)的竖向截面均为凸字形,且轨道(4)内壁和第二滑块(21)外壁均开设有滚珠槽,并且滚珠槽内部滚动连接有滚珠(22)。
3.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述固定框(10)底面固定安装有风箱(14),且风箱(14)底面通过接头(20)贯通连接有连接软管(15),并且风箱(14)一侧表面开设有排风口(25),所述轨道(4)一侧位于光刻台(1)顶面安装有迷你鼓风机(6),且迷你鼓风机(6)出风端与连接软管(15)另一端贯通连接。
4.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述硅胶垫(19)为圆形,且硅胶垫(19)底面开设有摩擦纹。
5.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述外杆(13)内壁与内杆(11)外壁过盈配合,且内杆(11)和外杆(13)均为不易变形材质制成。
6.根据权利要求3所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述排风口(25)出风方向斜向上,且排风口(25)开口高度不小于2mm。
7.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述内杆(11)底面开设有滑槽(23),且滑槽(23)内部滑动连接有第一滑块(12),并且第一滑块(12)底面通过斜撑杆(9)与捻锁伸缩杆(7)顶端外壁固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述第一滑块(12)和滑槽(23)竖向断面形状均为凸字形,且滑槽(23)内壁为光滑结构,并且第一滑块(12)和滑槽(23)过盈配合。
9.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述内杆(11)为矩形实心杆,所述外杆(13)为矩形管。
10.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机,其特征在于,所述压板(18)为不易变形金属圆板,且压板(18)表面涂刷有黑色漆。
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