[发明专利]一种多用途的掩膜式光面光刻机

权利要求书

1.一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，包括光刻台(1)和伺服移动台(2)，所述光刻台(1)顶面安装有伺服移动台(2)，且伺服移动台(2)顶面安装有晶圆放置板(3)，所述伺服移动台(2)外侧对角线处固定安装有轨道(4)，且轨道(4)内部滑动连接有第二滑块(21)，并且第二滑块(21)顶面竖向固定安装有捻锁伸缩杆(7)，所述捻锁伸缩杆(7)的顶端固定套接有固定环(8)，且固定环(8)一侧表面横向固定连接有外杆(13)，并且外杆(13)内部插接有内杆(11)，所述内杆(11)一端通过弹簧(24)与外杆(13)内壁固定连接，且内杆(11)另一端固定安装有固定框(10)，并且固定框(10)顶面中心位置贯穿螺纹连接有第二手柄螺栓(16)，所述第二手柄螺栓(16)底面通过旋转连接座(17)转动连接有压板(18)，且压板(18)底面粘接有硅胶垫(19)，所述轨道(4)内部贯穿螺纹连接有第一手柄螺栓(5)，且第一手柄螺栓(5)一端与轨道(4)一端转动连接，并且第一手柄螺栓(5)另一端贯穿轨道(4)另一端，所述第一手柄螺栓(5)贯穿第二滑块(21)并与第二滑块(21)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述轨道(4)和第二滑块(21)的竖向截面均为凸字形，且轨道(4)内壁和第二滑块(21)外壁均开设有滚珠槽，并且滚珠槽内部滚动连接有滚珠(22)。

3.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述固定框(10)底面固定安装有风箱(14)，且风箱(14)底面通过接头(20)贯通连接有连接软管(15)，并且风箱(14)一侧表面开设有排风口(25)，所述轨道(4)一侧位于光刻台(1)顶面安装有迷你鼓风机(6)，且迷你鼓风机(6)出风端与连接软管(15)另一端贯通连接。

4.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述硅胶垫(19)为圆形，且硅胶垫(19)底面开设有摩擦纹。

5.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述外杆(13)内壁与内杆(11)外壁过盈配合，且内杆(11)和外杆(13)均为不易变形材质制成。

6.根据权利要求3所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述排风口(25)出风方向斜向上，且排风口(25)开口高度不小于2mm。

7.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述内杆(11)底面开设有滑槽(23)，且滑槽(23)内部滑动连接有第一滑块(12)，并且第一滑块(12)底面通过斜撑杆(9)与捻锁伸缩杆(7)顶端外壁固定连接。

8.根据权利要求7所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述第一滑块(12)和滑槽(23)竖向断面形状均为凸字形，且滑槽(23)内壁为光滑结构，并且第一滑块(12)和滑槽(23)过盈配合。

9.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述内杆(11)为矩形实心杆，所述外杆(13)为矩形管。

10.根据权利要求1所述的一种多用途的掩膜式光面光刻机，其特征在于，所述压板(18)为不易变形金属圆板，且压板(18)表面涂刷有黑色漆。