[发明专利]一种多用途的掩膜式光面光刻机

说明书

本发明公开了一种多用途的掩膜式光面光刻机，包括光刻台和伺服移动台，所述光刻台顶面安装有伺服移动台，且伺服移动台顶面安装有晶圆放置板。有益效果：本发明通过转动第二手柄螺栓压住菲林片来固定菲林片，避免菲林片过薄而引起放置不稳定的情况，固定完成后，可向外转动第一手柄螺栓，带动第二滑块向外移动，从而带动捻锁伸缩杆向外移动，进而带动外杆向外移动，从而带动弹簧伸长，拉扯内杆，进而拉扯菲林片四角，完成张拉，避免菲林片出现褶皱弯曲的现象，提高菲林片的平整性，从而提高透光的均匀性，提高使用菲林片时的光刻效率，固定框中也可放入玻璃的四角，完成对玻璃的固定，从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体来说，涉及一种多用途的掩膜式光面光刻机。

背景技术

光刻机又名:掩膜对准曝光机，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机，高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

掩膜式光刻机通常采用玻璃片作为掩膜版，掩膜版固定座也是针对玻璃片或者石英片来设计，当需要使用到成本更低的菲林片时，由于菲林片较为轻薄，传统的固定座无法稳定安装菲林片，容易引起菲林片起拱，不够平整，影响光穿过效率，从而影响光刻效率，同时，菲林片耐热变形能力远不如玻璃片，传统的光刻机在进行光刻时的热量会停留在菲林片表面，从而引起菲林片受热变形，也会限制菲林片的使用功能，还可以进一步作出改进，同时，传统的固定座多为固定尺寸，不方便进行大小和高度调节，也影响了使用的便利性，也还可以进一步作出改进。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多用途的掩膜式光面光刻机，具备便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于调节、使用方便的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为实现上述便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于调节、使用方便的优点，本发明采用的具体技术方案如下：

一种多用途的掩膜式光面光刻机，包括光刻台和伺服移动台，所述光刻台顶面安装有伺服移动台，且伺服移动台顶面安装有晶圆放置板，所述伺服移动台外侧对角线处固定安装有轨道，且轨道内部滑动连接有第二滑块，并且第二滑块顶面竖向固定安装有捻锁伸缩杆，所述捻锁伸缩杆的顶端固定套接有固定环，且固定环一侧表面横向固定连接有外杆，并且外杆内部插接有内杆，所述内杆一端通过弹簧与外杆内壁固定连接，且内杆另一端固定安装有固定框，并且固定框顶面中心位置贯穿螺纹连接有第二手柄螺栓，所述第二手柄螺栓底面通过旋转连接座转动连接有压板，且压板底面粘接有硅胶垫，所述轨道内部贯穿螺纹连接有第一手柄螺栓，且第一手柄螺栓一端与轨道一端转动连接，并且第一手柄螺栓另一端贯穿轨道另一端，所述第一手柄螺栓贯穿第二滑块并与第二滑块螺纹连接。

进一步的，所述轨道和第二滑块的竖向截面均为凸字形，且轨道内壁和第二滑块外壁均开设有滚珠槽，并且滚珠槽内部滚动连接有滚珠。

进一步的，所述固定框底面固定安装有风箱，且风箱底面通过接头贯通连接有连接软管，并且风箱一侧表面开设有排风口，所述轨道一侧位于光刻台顶面安装有迷你鼓风机，且迷你鼓风机出风端与连接软管另一端贯通连接。

进一步的，所述硅胶垫为圆形，且硅胶垫底面开设有摩擦纹。

进一步的，所述外杆内壁与内杆外壁过盈配合，且内杆和外杆均为不易变形材质制成。

进一步的，所述排风口出风方向斜向上，且排风口开口高度不小于2mm。