[发明专利]水听器及其制造方法

说明书

本公开提供一种水听器及其制造方法。该水声器包括：水声感应薄膜，被配置为感应施加到水声感应薄膜的第一表面上的水声压力；压电薄膜，位于水声感应薄膜的第二表面上，第二表面与第一表面相对；声表面波谐振器，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上；以及正面密封结构，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上，正面密封结构形成容纳声表面波谐振器的空腔并密封声表面波谐振器。

技术领域

本公开涉及半导体技术领域，特别是涉及一种水听器及其制造方法。

背景技术

随着对水下探测能力的要求不断提高，对水听器的性能要求也越来越苛刻，许多应用场景都对水听器的体积重量等参数有较为严格的要求。

现有SAW水听器均为正面感应声压，为了解决声表面波在固液交界面声能损耗的问题并同时兼顾声压的传递，正面装配有悬空的压力板，这既增大了传感器体积又增加了制造难度。而且，还需要通过特殊定制的夹具或支撑件来实现感应膜的悬空，这也导致体积增大、制造难度增加。

发明内容

提供一种缓解、减轻或者甚至消除上述问题中的一个或多个的机制将是有利的。

根据本公开的一些实施例，提供了一种水听器，包括：水声感应薄膜，被配置为感应施加到水声感应薄膜的第一表面上的水声压力；压电薄膜，位于水声感应薄膜的第二表面上，第二表面与第一表面相对；声表面波谐振器，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上；以及正面密封结构，位于压电薄膜的背离水声感应薄膜的表面上，正面密封结构形成容纳声表面波谐振器的空腔并密封声表面波谐振器。

根据本公开的一些实施例，还提供了一种水听器的制造方法，包括：提供第一衬底；在第一衬底的第一表面上形成压电薄膜；在压电薄膜的背离第一衬底的表面上形成声表面波谐振器；在第一衬底的第二表面对应于声表面波谐振器的区域形成第一凹槽，从而得到水声感应薄膜，其中，第二表面与第一表面相对；提供第二衬底；在第二衬底的第一表面对应于声表面波谐振器的区域形成第二凹槽，从而得到正面密封结构；以及将正面密封结构与水声感应薄膜进行键合，以使得声表面波谐振器被密封在第二凹槽内。

根据在下文中所描述的实施例，本公开的这些和其它方面将是清楚明白的，并且将参考在下文中所描述的实施例而被阐明。

附图说明

在下面结合附图对于示例性实施例的描述中，本公开的更多细节、特征和优点被公开，在附图中：

图1是根据本公开示例性实施例的水听器的制造方法的流程图；

图2A至图2J是根据本公开示例性实施例的在水听器的制造方法的各个步骤中所形成的水听器的示例结构的剖面示意图；

图3是根据本公开示例性实施例的水听器的剖面示意图；以及

图4是根据本公开示例性实施例的声表面波谐振器的俯视示意图。

具体实施方式

将理解的是，尽管术语第一、第二、第三等等在本文中可以用来描述各种元件、部件、区、层和/或部分，但是这些元件、部件、区、层和/或部分不应当由这些术语限制。这些术语仅用来将一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分相区分。因此，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可以被称为第二元件、部件、区、层或部分而不偏离本公开的教导。