[发明专利]夹具组件和操作夹具组件的方法在审

专利信息
申请号: 202011446886.4 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN112938469A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 崔岘焘;赵俊基 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: B65G47/90 分类号: B65G47/90;H01L21/677;H01L21/687;B67B7/15
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 翟然
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 夹具 组件 操作 方法
【说明书】:

夹具组件包括:基座,具有在第一方向上延伸的中空区域;至少三个夹具,沿着基座的周边布置;至少三个夹具,配置为绕在第一方向上延伸的各自的旋转轴线可旋转;以及第一动力传送器,配置为使所述至少三个夹具绕各自的旋转轴线在第一旋转方向上同时旋转。

技术领域

本公开的示例实施方式涉及夹具组件以及操作该夹具组件的方法。

背景技术

近年来,在半导体处理设备、低温操作装置以及医学和生物学领域中的研究增加了在诸如真空室或低温容器的封闭空间中运输样品和组件的需求。为此,用于保持样品或部件的拾取机器人的开发正在积极进行中。拾取机器人需要一种能够快速且准确地拾取非典型物体(即具有各种形状、尺寸和材料的物体)的夹具装置。

当流体形式的样品在样品盒中运输时,在将样品容纳在样品盒中之后,样品盒的盖可以被锁定。为了将样品从样品盒中取出并使用,可能单独需要用于夹持样品盒的夹具装置和用于打开样品盒的盖的夹具装置。当根据目的使用不同的夹具装置时,夹具装置可能占用很多空间,这可能导致成本方面的问题以及降低工艺成品率。

发明内容

提供了一种夹具组件以及一种操作夹具组件的方法,该夹具组件能够使用单个夹具组件夹持样品盒并打开样品盒的盖。

提供了一种夹具组件以及一种操作夹具组件的方法,该夹具组件能够控制用于夹持样品盒的保持力。

提供了一种包括样品载体的夹具组件以及一种操作夹具组件的方法。

另外的方面将在下面的描述中部分地阐述,并且部分地从该描述中将是明显的,或者可以通过实践本公开的所给出的实施方式而获悉。

根据一示例实施方式的一方面,提供了一种夹具组件,该夹具组件包括:基座,具有在第一方向上延伸的中空区域;沿基座的周边布置的至少三个夹具,所述至少三个夹具配置为绕在第一方向上延伸的各自的旋转轴线可旋转;第一动力传送器,配置为使所述至少三个夹具绕各自的旋转轴线在第一旋转方向上同时旋转。

夹具组件可以还包括:第一驱动电机,配置为产生传送到所述至少三个夹具的第一驱动力;第一弹性体,其中第一弹性体的一端连接到第一动力传送器,并且第一弹性体的另一端连接到第一驱动电机,第一弹性体配置为将第一驱动力传送到第一动力传送器。

夹具组件可以还包括:第二驱动电机,配置为产生用于使基座绕第一方向旋转的第二驱动力;第二动力传送器,配置为将第二驱动力传送到基座,使得基座绕第一方向旋转。

夹具组件可以还包括:控制器,包括至少一个处理器,控制器被配置为控制第一驱动电机和第二驱动电机,其中控制器还被配置为在第二驱动电机被操作的情况下控制第一驱动电机,使得基座的旋转速度和第一动力传送器的旋转速度相同。

第一动力传送器可以包括分别与至少三个夹具相对应的至少三个动力传送凸轮。

夹具组件可以还包括:止动件,配置为限制第一弹性体伸展超过一定长度。

夹具组件可以还包括:第二弹性体,其中第二弹性体的一端连接到基座,第二弹性体的另一端连接到所述至少三个夹具当中的夹具,第二弹性体被配置为在与第一旋转方向相反的第二旋转方向上向夹具施加恢复力。

夹具组件可以还包括:控制器,包括至少一个处理器,控制器被配置为控制第一驱动电机,其中控制器还被配置为控制第一驱动电机以将第一弹性体伸展至第一长度,第一长度是其中所述至少三个夹具开始夹持在基座下方的样品盒或样品盒的盖的第一弹性体的长度。

控制器可以还被配置为控制第一驱动电机以使第一弹性体伸展超过第一长度。

夹具组件可以还包括:在所述至少三个夹具当中的夹具的一端处的接触垫。

夹具组件可以还包括:在基座的中空区域中的样品载体。

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