[发明专利]物料移载状态侦测系统及方法

说明书

本发明涉及一种物料移载状态侦测系统及方法，所述系统包含有一移载装置、一设置装置，以及至少一影像捕获设备，所述移载装置具有一能在多个位置之间移动的承载台，用于供一物料放置在所述承载台的一承载面上，所述影像捕获设备以一固定的拍摄方向朝位于一所述位置的所述承载台的承载面拍摄的方式设置于所述设置装置，所述方法是将实际移载过程的影像及物料吸附于承载台的吸附状态与标准影像及标准吸附状态比对进而判断是否有物料移载异常；由此，所述物料移载状态侦测系统及方法可侦测出移载装置上的物料是否呈现错误的放置状态，所述侦测系统的设备成本低且体积小。

技术领域

本发明与物料状态侦测系统有关，特别是指一种物料移载状态侦测系统，以及一种使用所述物料移载状态侦测系统的物料移载状态侦测方法。

背景技术

现今许多制程由自动化设备进行，各个工作站会设置一移载装置，以于工作站内及工作站之间移动物料。举例而言，晶圆在制造完成后存放于一晶圆匣(cassette)内，以待一移载装置将晶圆自晶圆匣取出，再通过后续的各个工作站(检测、分捡、置晶、固化、沉浸、蚀刻、曝光、显影、切割等等)的移载装置接续移载晶圆，而使得晶圆逐一进行各个工作站的程序。

然而，在移载物料的过程中，物料可能呈现错误的放置状态，尤其在各个工作站的进站口及出站口，物料的移动速度骤降而容易产生晃动，在交接物料的动作上更容易使物料的放置状态产生错误。以晶圆为例，其错误的放置状态可能为掉片、偏心、歪斜、旋转、叠片等等，将会使后续程序发生错误，甚至可能造成晶圆碰撞设备、掉落以及损坏。

习知侦测物料状态的方式，利用诸如红外线、近接传感器、复杂的光学影像辨识系统之类的方式进行侦测，然而，在前述方式中，有的设置成本较高、有的体积较为庞大而不利于整体设备的空间配置，因此仍有待改善。

发明内容

针对上述问题，本发明的主要目的在于提供一种物料移载状态侦测系统及方法，其设备成本较低、体积较小，且可侦测出移载装置上的物料是否呈现错误的放置状态。

为达到上述目的，本发明所提供的一种物料移载状态侦测系统，其特征在于包含有：一移载装置，具有一能在多个位置之间移动的承载台，供一物料放置在所述承载台的一承载面上；一设置装置；至少一影像捕获设备，以一固定的拍摄方向朝位于一所述位置的所述承载台的承载面拍摄的方式设置于所述设置装置。

上述本发明的技术方案中，所述承载台的所述多个位置中包含一第一位置，所述至少一影像捕获设备中包含二第一影像捕获设备，所述承载台位于所述第一位置时同时受所述二第一影像捕获设备拍摄。

所述承载台的所述多个位置中包含一第二位置，所述至少一影像捕获设备中包含二第二影像捕获设备，所述承载台位于所述第二位置时同时受所述二第二影像捕获设备拍摄。

所述物料移载状态侦测系统位于一制程的一工作站，所述二第一影像捕获设备位于所述工作站的一进站口，所述二第二影像捕获设备位于所述工作站的一出站口。

所述承载台位于所述第一位置与所述第二位置之间的任一位置时同时受至少所述二第一影像捕获设备或所述二第二影像捕获设备拍摄。

所述移载装置包含有一第一水平驱动单元、一能受所述第一水平驱动单元驱动而在一进站口位置与一出站口位置之间水平位移的第二水平驱动单元，以及一能受所述第二水平驱动单元驱动而在一缩回位置与一伸出位置之间水平位移的取放臂，所述承载台固定于所述取放臂。

所述至少一影像捕获设备中包含二第一影像捕获设备，当所述第二水平驱动单元位于所述进站口位置且所述取放臂位于所述缩回位置时，所述承载台同时受所述二第一影像捕获设备拍摄。

所述至少一影像捕获设备中包含二第二影像捕获设备，当所述第二水平驱动单元位于所述出站口位置且所述取放臂位于所述缩回位置时，所述承载台同时受所述二第一影像捕获设备拍摄。