[发明专利]一种新型多级罗茨真空泵有效
申请号: | 202011447705.X | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN114607600B | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 李小号;李中浩;王光玉;徐静怡;刘坤;刘在行;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;毕德龙 | 申请(专利权)人: | 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
主分类号: | F04C18/12 | 分类号: | F04C18/12;F04C25/02;F04C23/00;F04C23/02;F04C29/06;F04C29/12 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 110169 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 多级 真空泵 | ||
1.一种新型多级罗茨真空泵,其特征在于:包括壳体(7)、驱动组件、主动轴(4)和从动轴(18),其中主动轴(4)和从动轴(18)均设于所述壳体(7)中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动,所述主动轴(4)上依次设有主动螺杆转子(6)、主动扭叶罗茨转子(9)和主动罗茨转子(10),所述从动轴(18)上依次设有从动螺杆转子(20)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14),且所述主动螺杆转子(6)与从动螺杆转子(20)啮合,所述主动扭叶罗茨转子(9)与从动扭叶罗茨转子(16)啮合,所述主动罗茨转子(10)与从动罗茨转子(14)啮合,壳体(7)内部通过隔板(17)分成第一泵腔(701)和第二泵腔(702),且所述主动螺杆转子(6)和从动螺杆转子(20)设于第一泵腔(701)中,所述主动扭叶罗茨转子(9)、主动罗茨转子(10)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)设于第二泵腔(702)中,所述第一泵腔(701)设有排气口(19),所述第二泵腔(702)设有进气口(22),所述隔板(17)上设有流通孔(13);
所述主动罗茨转子(10)和主动扭叶罗茨转子(9)为一体结构,所述从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)也为一体结构;所述主动罗茨转子(10)、主动扭叶罗茨转子(9)、从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)端面型线一致;
所述主动轴(4)上设有多级主动罗茨转子(10),所述从动轴(18)上设有多级从动罗茨转子(14),各级主动罗茨转子(10)与对应的从动罗茨转子(14)啮合;
所述第二泵腔(702)内通过隔板(17)分隔成多个腔体,且每级主动罗茨转子(10)和从动罗茨转子(14)置于对应的腔体中,各个隔板(17)上均设有流通孔(13);
所述第二泵腔(702)靠近第一泵腔(701)一端设有与所述流通孔(13)连通的凹槽(23);
所述主动扭叶罗茨转子(9)和从动扭叶罗茨转子(16)的扭叶扭转角范围为0°~360°;
所述主动扭叶罗茨转子(9)和从动扭叶罗茨转子(16)的吸排气口呈对角线设置。
2.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述进气口(22)中心轴线和排气口(19)中心轴线垂直设置。
3.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述第一泵腔(701)侧壁和第二泵腔(702)侧壁均设有水冷通道(15)。
4.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述驱动组件包括电机(1)、主动齿轮(2)和从动齿轮(21),主动轴(4)与电机(1)输出轴连接,主动齿轮(2)套装于主动轴(4)轴端,从动齿轮(21)套装于从动轴(18)轴端,且所述主动齿轮(2)与从动齿轮(21)啮合。
5.根据权利要求4所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:在所述壳体(7)一端设有齿轮室(3),所述主动齿轮(2)和从动齿轮(21)设于所述齿轮室(3)中。
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F04C 旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械
F04C18-00 专门适用于弹性流体的旋转活塞式泵
F04C18-02 .弧形啮合式的,即各配合元件具有圆弧形传送运动,每一元件都具有相同数量的齿或齿的等同物
F04C18-08 .相互啮合式的,即具有与齿轮传动相似的配合元件的啮合
F04C18-22 .内轴式,与其配合元件在相互啮合处具有同方向的运动,或其中的一个配合元件是固定的,内部元件比外部有更多的齿或齿的等同物
F04C18-24 .反向啮合的,即配合元件在相互啮合处的运动方向相反
F04C18-30 .具有F04C 18/02,F04C 18/08,F04C 18/22,F04C 18/24,F04C 18/48各组中两组或多组所包含的特征,或具有这些组中的某一组所包含的特征,还具有配合元件之间的