[发明专利]一种新型多级罗茨真空泵有效

专利信息
申请号: 202011447705.X 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN114607600B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 李小号;李中浩;王光玉;徐静怡;刘坤;刘在行;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;毕德龙 申请(专利权)人: 东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
主分类号: F04C18/12 分类号: F04C18/12;F04C25/02;F04C23/00;F04C23/02;F04C29/06;F04C29/12
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 汪海
地址: 110169 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 多级 真空泵
【权利要求书】:

1.一种新型多级罗茨真空泵,其特征在于:包括壳体(7)、驱动组件、主动轴(4)和从动轴(18),其中主动轴(4)和从动轴(18)均设于所述壳体(7)中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动,所述主动轴(4)上依次设有主动螺杆转子(6)、主动扭叶罗茨转子(9)和主动罗茨转子(10),所述从动轴(18)上依次设有从动螺杆转子(20)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14),且所述主动螺杆转子(6)与从动螺杆转子(20)啮合,所述主动扭叶罗茨转子(9)与从动扭叶罗茨转子(16)啮合,所述主动罗茨转子(10)与从动罗茨转子(14)啮合,壳体(7)内部通过隔板(17)分成第一泵腔(701)和第二泵腔(702),且所述主动螺杆转子(6)和从动螺杆转子(20)设于第一泵腔(701)中,所述主动扭叶罗茨转子(9)、主动罗茨转子(10)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)设于第二泵腔(702)中,所述第一泵腔(701)设有排气口(19),所述第二泵腔(702)设有进气口(22),所述隔板(17)上设有流通孔(13);

所述主动罗茨转子(10)和主动扭叶罗茨转子(9)为一体结构,所述从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)也为一体结构;所述主动罗茨转子(10)、主动扭叶罗茨转子(9)、从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)端面型线一致;

所述主动轴(4)上设有多级主动罗茨转子(10),所述从动轴(18)上设有多级从动罗茨转子(14),各级主动罗茨转子(10)与对应的从动罗茨转子(14)啮合;

所述第二泵腔(702)内通过隔板(17)分隔成多个腔体,且每级主动罗茨转子(10)和从动罗茨转子(14)置于对应的腔体中,各个隔板(17)上均设有流通孔(13);

所述第二泵腔(702)靠近第一泵腔(701)一端设有与所述流通孔(13)连通的凹槽(23);

所述主动扭叶罗茨转子(9)和从动扭叶罗茨转子(16)的扭叶扭转角范围为0°~360°;

所述主动扭叶罗茨转子(9)和从动扭叶罗茨转子(16)的吸排气口呈对角线设置。

2.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述进气口(22)中心轴线和排气口(19)中心轴线垂直设置。

3.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述第一泵腔(701)侧壁和第二泵腔(702)侧壁均设有水冷通道(15)。

4.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:所述驱动组件包括电机(1)、主动齿轮(2)和从动齿轮(21),主动轴(4)与电机(1)输出轴连接,主动齿轮(2)套装于主动轴(4)轴端,从动齿轮(21)套装于从动轴(18)轴端,且所述主动齿轮(2)与从动齿轮(21)啮合。

5.根据权利要求4所述的新型多级罗茨真空泵,其特征在于:在所述壳体(7)一端设有齿轮室(3),所述主动齿轮(2)和从动齿轮(21)设于所述齿轮室(3)中。

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