[发明专利]一种新型多级罗茨真空泵

说明书

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。

技术领域

本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵。

背景技术

近年来随着半导体等行业的发展，真空获得技术在生产中的应用也越来越广泛，其中干式真空泵是最普遍、应用最广范的真空获得设备。目前市场上大多干式真空泵为罗茨泵或螺杆泵，其不能在较宽的压力范围内获得较大的抽速并且能耗较大，如果使用罗茨与螺杆机组组合，又存在占地面积大、噪声振动严重的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新型多级罗茨真空泵，在较宽的压力范围内有较大的抽速，具有较高的气体压缩转移效率，能够保证转子之间的平衡，防止真空泵出现振动和噪音，且保证工作过程中副产物顺利排出。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴均设于所述壳体中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动，所述主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，所述从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且所述主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，所述主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，所述主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且所述主动螺杆转子和从动螺杆转子设于第一泵腔中，所述主动扭叶罗茨转子、主动罗茨转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子设于第二泵腔中，所述第一泵腔设有排气口，所述第二泵腔设有进气口，所述隔板上设有流通孔。

所述主动罗茨转子和主动扭叶罗茨转子为一体结构，所述从动罗茨转子和从动扭叶罗茨转子也为一体结构。

所述主动罗茨转子、主动扭叶罗茨转子、从动罗茨转子和从动扭叶罗茨转子端面型线一致。

所述主动轴上设有多级主动罗茨转子，所述从动轴上设有多级从动罗茨转子，各级主动罗茨转子与对应的从动罗茨转子啮合。

所述第二泵腔内通过隔板分隔成多个腔体，且每级主动罗茨转子和从动罗茨转子置于对应的腔体中。

所述进气口中心轴线和排气口中心轴线垂直设置。

所述第二泵腔靠近第一泵腔一端设有与所述流通孔连通的凹槽。

所述第一泵腔侧壁和第二泵腔侧壁均设有水冷通道。

所述驱动组件包括电机、主动齿轮和从动齿轮，主动轴与电机输出轴连接，主动齿轮套装于主动轴轴端，从动齿轮套装于从动轴轴端，且所述主动齿轮与从动齿轮啮合。

在所述壳体一端设有齿轮室，所述主动齿轮和从动齿轮设于所述齿轮室中。

本发明的优点与积极效果为：

1、本发明包括螺杆转子、扭叶罗茨转子和罗茨转子，其中扭叶罗茨转子和罗茨转子形成的复合结构在增大真空泵抽速的同时降低了其流量脉动系数与压力脉动系数，运行更加稳定，而螺杆转子齿间间隙很小，但又不接触，因而可产生较高真空，又不容易磨损，与涡旋泵、爪型泵等其它干泵相比，螺杆泵具有明显优势，既具有较高的压缩比，又相对平稳。