[发明专利]片状粘合材料剥离装置在审
申请号: | 202011450449.X | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN112992761A | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 长谷幸敏 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社;日东精机株式会社 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 片状 粘合 材料 剥离 装置 | ||
1.一种片状粘合材料剥离装置,其为将粘贴于工件的片状粘合材料从所述工件剥离的装置,
该片状粘合材料剥离装置的特征在于,
所述片状粘合材料具有通过与液体相接触来使粘合力下降的感湿粘合力下降性粘合层,
该片状粘合材料剥离装置具有:
剥离开始部位形成机构,其将所述片状粘合材料的外周部的局部从所述工件剥离,形成作为所述感湿粘合力下降性粘合层与所述工件之间的界面的开始剥离的部位即剥离开始部位;
液体供给机构,其向所述剥离开始部位的至少局部的部分供给液体;以及
剥离机构,其维持被供给到所述剥离开始部位的所述液体或通过追加供给的液体与伴随着所述片状粘合材料的剥离而移动的剥离部位的至少局部的部分相接触的状态,并且使所述片状粘合材料相对于所述工件向预定的剥离方向相对移动,从所述工件剥离所述片状粘合材料。
2.根据权利要求1所述的片状粘合材料剥离装置,其特征在于,
所述剥离开始部位形成机构具有:
保持构件,其保持所述片状粘合材料的端部;以及
保持构件移动机构,其使所述保持构件向远离所述工件的方向移动,
在所述保持构件保持所述片状粘合材料的端部的状态下,使保持构件向远离所述工件的方向移动,从而形成所述剥离开始部位。
3.根据权利要求1或2所述的片状粘合材料剥离装置,其特征在于,
所述剥离开始部位形成机构具有:
剥离构件,其具有顶端变细的顶端部;以及
剥离构件移动机构,其使所述剥离构件从所述片状粘合材料的外周部朝向中央部移动,
所述剥离构件移动机构使所述剥离构件的所述顶端部从所述片状粘合材料的外周部进入,从而形成所述剥离开始部位。
4.根据权利要求3所述的片状粘合材料剥离装置,其特征在于,
所述液体供给机构设于所述剥离构件,
所述剥离构件移动机构使所述剥离构件的所述顶端部从所述片状粘合材料的外周部进入来形成所述剥离开始部位,并且所述液体供给机构向所述剥离开始部位供给所述液体。
5.根据权利要求1或2所述的片状粘合材料剥离装置,其特征在于,
该片状粘合材料剥离装置具有干燥机构,该干燥机构对所述片状粘合材料已被剥离的所述工件和从所述工件剥离的所述片状粘合材料进行干燥。
6.根据权利要求1或2所述的片状粘合材料剥离装置,其特征在于,
该片状粘合材料剥离装置具有:
粘合传感器,其对所述片状粘合材料的所述剥离部位处的粘合力进行检测;以及
控制部,在所述粘合传感器所检测的所述粘合力为预定值以上的情况下,该控制部对所述液体供给机构进行向所述剥离部位供给所述液体的控制。
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