[发明专利]微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用

权利要求书

1.一种微位移装置，其特征在于，包括：

具有中空腔室的壳体，所述壳体的侧部形成一开口，所述壳体形成有限位槽；

容置于所述壳体中空腔室内的移动件，且所述移动件与所述壳体之间滑动连接；以及，

驱动机构，所述驱动机构通过所述限位槽伸入至所述壳体的中空腔室内以与所述移动件连接，所述驱动机构配置成驱动所述移动件沿第一方向移动或第二方向移动。

2.根据权利要求1所述的微位移装置，其特征在于，

所述驱动机构包括第二方向驱动组件和第一方向驱动组件，所述第一方向驱动组件和所述第二方向驱动组件分别交替触控所述移动件，以驱动所述移动件沿所述第一方向移动或所述第二方向移动。

3.根据权利要求2所述的微位移装置，其特征在于，

所述第二方向驱动组件包括第二方向锁紧件、与第二方向锁紧件相连的第二方向驱动件，所述第一方向驱动组件包括第一方向锁紧件、与第一方向锁紧件相连的第一方向驱动件；

所述第二方向驱动件配置成在所述第一方向锁紧件远离所述移动件且所述第二方向锁紧件紧贴所述移动件时伸长，以推动所述第二方向锁紧件沿所述第二方向移动；

所述第一方向驱动件配置成在所述第二方向锁紧件远离所述移动件且所述第一方向锁紧件紧贴所述移动件时伸长，以推动所述第一方向锁紧件沿所述第一方向移动。

4.根据权利要求3所述的微位移装置，其特征在于，

所述第二方向锁紧件和所述第一方向锁紧件均配置为锁紧压电堆，所述第二方向驱动件和所述第一方向驱动件均配置为驱动压电堆；或，

所述第二方向锁紧件和所述第一方向锁紧件均配置为锁紧压电堆，所述第二方向驱动件和所述第一方向驱动件均配置为驱动电机。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的微位移装置，其特征在于，所述壳体包括：

具有一敞口且侧部形成所述开口的底座；

覆盖于所述底座的敞口处且形成有所述限位槽并用于布置所述驱动机构的盖板；

其中，所述底座中朝向所述盖板的一面配置为具有滚珠的可滑动平面，且所述移动件通过所述滚珠与所述底座的可滑动平面滑动连接。

6.一种光路调节设备，其特征在于，包括：

如权利要求1-5中任一项所述的微位移装置；以及，

形成于所述移动件的一侧且从所述开口伸出的准直器。

7.根据权利要求6所述的光路调节设备，其特征在于，

所述移动件配置为容置于所述壳体内且尺寸大于所述开口尺寸的移动板，移动板的自由端形成有尺寸小于所述开口尺寸的凸起部，所述准直器形成于所述凸起部的末端。

8.根据权利要求7所述的光路调节设备，其特征在于，

所述准直器配置为开设有多个不同尺寸的准直孔的薄板。

9.一种微位移控制方法，其特征在于，包括：

控制驱动机构伸入至壳体中空腔室内并紧贴移动件，所述壳体的侧部形成一开口，且所述壳体形成有供所述驱动机构伸入至壳体中空腔室内以与所述移动件连接的限位槽，所述移动件与所述壳体之间滑动连接；

控制所述驱动机构沿第一方向或第二方向移动以驱动所述移动件沿所述第一方向或所述第二方向移动。

10.根据权利要求9的微位移控制方法，其特征在于，在控制驱动机构伸入至壳体中空腔室内并紧贴所述移动件之前，或在控制所述驱动机构沿第一方向或第二方向移动以驱动所述移动件沿所述第一方向或所述第二方向移动之后，包括：

控制所述驱动机构紧贴所述移动件，以锁紧所述移动件。

11.一种微位移装置的应用，其特征在于，用于对如权利要求6至8中任一项所述的光路调节设备所包含的准直器进行微位移调节。