[发明专利]微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用

说明书

本发明提供了一种微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用，其中，微位移装置包括侧部形成一开口的壳体；容置于所述壳体内的移动件，且所述移动件与所述壳体之间滑动连接；以及，驱动机构，所述壳体形成有供所述驱动机构伸入至壳体中空腔室内以与所述移动件连接的限位槽，所述驱动机构配置成驱动所述移动件沿所述限位槽内沿的第一方向移动或第二方向移动。本发明解决现有技术中微位移平台体积较大而无法安装到空间高度有限的应用场景中的问题。

技术领域

本发明涉及微位移技术领域，更具体涉及一种微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用。

背景技术

精密微位移技术是精密仪器和精密测量的关键技术之一，广泛应用于微型机械制造、超精密加工、显微镜技术、半导体制造和设备以及光电等领域中。其中，微位移装置能够提供具有微米级甚至纳米级分辨率的步进位移，受到广泛的关注和应用。随着半导体技术的发展，半导体设备的各种零部件趋于小型化，准直器作为半导体设备中的光学准直元件，其尺寸越做越小。目前准直器是依靠两维微位移平移台实现两维位移。两维微位移平移台的结构分为上下两层，每层都有一个固定体和移动体，其中一层的固定体与另一层的移动体相连接。如图1所示，上层固定体102与下层移动体103固连在一起。上层移动体101沿轨道105(布置于上层固定体102上)实现第一维度方向(即x方向)的移动，下层移动体103沿轨道106(布置于下层固定体104上)实现第二维度方向(即y方向)的移动，以带动上层固定体102实现第二维度方向的移动，从而实现上层部件107带动准直器在两个维度方向上的移动，且两个维度方向垂直。

由此可见，现有的两维微位移平移台都是通过两个一维位移调离装置组合在一起实现精确位移调整，其整体结构尺寸较大，这样极大的增加了位移台的体积，应用环境比较严格，一般不能安装到空间高度有限的应用场景中。

有鉴于此，有必要对现有技术中的微位移平移台予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于公开一种微位移装置及方法、光路调节设备及微位移装置的应用，以解决现有技术中微位移平台体积较大而无法安装到空间高度有限的应用场景中的问题。

为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种微位移装置，包括：

具有中空腔室的壳体，所述壳体的侧部形成一开口，所述壳体形成有限位槽；

容置于所述壳体中空腔室内的移动件，且所述移动件与所述壳体之间滑动连接；以及，

驱动机构，所述驱动机构通过所述限位槽伸入至所述壳体的中空腔室内以与所述移动件连接，所述驱动机构配置成驱动所述移动件沿第一方向移动或第二方向移动。

进一步地，所述驱动机构包括第二方向驱动组件和第一方向驱动组件，所述第一方向驱动组件和所述第二方向驱动组件分别交替触控所述移动件，以驱动所述移动件沿所述第一方向移动或所述第二方向移动。

进一步地，所述第二方向驱动组件包括第二方向锁紧件、与第二方向锁紧件相连的第二方向驱动件，所述第一方向驱动组件包括第一方向锁紧件、与第一方向锁紧件相连的第一方向驱动件；

所述第二方向驱动件配置成在所述第一方向锁紧件远离所述移动件且所述第二方向锁紧件紧贴所述移动件时伸长，以推动所述第二方向锁紧件沿所述第二方向移动；

所述第一方向驱动件配置成在所述第二方向锁紧件远离所述移动件且所述第一方向锁紧件紧贴所述移动件时伸长，以推动所述第一方向锁紧件沿所述第一方向移动。

进一步地，所述第二方向锁紧件和所述第一方向锁紧件均配置为锁紧压电堆，所述第二方向驱动件和所述第一方向驱动件均配置为驱动压电堆；或，

所述第二方向锁紧件和所述第一方向锁紧件均配置为锁紧压电堆，所述第二方向驱动件和所述第一方向驱动件均配置为驱动电机。