[发明专利]一种用于晶元清洗的托架

权利要求书

1.一种用于晶元清洗的托架，包括固定底脚(3)，其特征在于：所述固定底脚(3)的上端外表面设置有一号热胀冷缩拼接柱(2)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的前端外表面设置有peek焊接板(6)，所述peek焊接板(6)的下端设置有便捷固定插板(7)，所述peek焊接板(6)的后端外表面设置有二号热胀冷缩拼接柱(5)，所述一号热胀冷缩拼接柱(2)的一侧设置有固定柱体(1)，所述固定柱体(1)的上端设置有联动柱(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述一号热胀冷缩拼接柱(2)包括柱芯(201)、一号插入块(202)、防水外层(203)、一号固定金属块(204)、二号插入块(205)与二号固定金属块(206)，所述一号插入块(202)位于柱芯(201)的一端外表面，所述防水外层(203)位于柱芯(201)的外壁，所述一号固定金属块(204)位于二号插入块(205)的上端外表面，所述二号插入块(205)位于柱芯(201)的另一端外表面，所述二号固定金属块(206)位于二号插入块(205)的下端外表面。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述柱芯(201)的一端外表面与一号插入块(202)的另一侧外表面固定连接，所述防水外层(203)的内壁与柱芯(201)的外壁固定连接，所述一号固定金属块(204)的下端外表面与二号插入块(205)的上端外表面固定连接，所述二号插入块(205)的一侧外表面与柱芯(201)的另一端外表面固定连接，所述二号固定金属块(206)的上端外表面与二号插入块(205)的下端外表面固定连接，所述一号固定金属块(204)的数量为两组，所述二号固定金属块(206)的数量为两组。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述peek焊接板(6)包括一号插入固定柱(601)、一号peek固定板(602)、三角连接板块(603)、二号插入固定柱(604)、二号peek固定板(605)与三号peek固定板(606)，所述一号插入固定柱(601)位于一号peek固定板(602)的后端外表面，所述一号peek固定板(602)位于三角连接板块(603)的上端外表面，所述三角连接板块(603)位于三号peek固定板(606)的上端外表面，所述二号插入固定柱(604)位于三角连接板块(603)的后端外表面，所述二号peek固定板(605)位于三角连接板块(603)的一侧外表面，所述三号peek固定板(606)位于二号peek固定板(605)的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述一号插入固定柱(601)的前端外表面与一号peek固定板(602)的后端外表面固定连接，所述一号peek固定板(602)的下端外表面与三角连接板块(603)的上端外表面固定连接，所述三角连接板块(603)的一侧外表面与二号peek固定板(605)的上端外表面固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述二号插入固定柱(604)的前端外表面与三角连接板块(603)的后端外表面固定连接，所述三号peek固定板(606)的上端外表面与三角连接板块(603)的另一侧外表面固定连接，所述一号插入固定柱(601)的数量为两组，所述二号插入固定柱(604)的数量为三组。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶元清洗的托架，其特征在于：所述便捷固定插板(7)包括齿状板(701)、加强板芯(702)、连接板层(703)、固定板块(704)与固定插入柱块(705)，所述齿状板(701)位于加强板芯(702)的一侧外表面，所述加强板芯(702)位于连接板层(703)的一侧外表面，所述连接板层(703)位于齿状板(701)的一侧，所述固定板块(704)位于连接板层(703)的下端外表面，所述固定插入柱块(705)位于固定板块(704)的前端外表面上。