[发明专利]一种IPD吸收式带通滤波器在审
申请号: | 202011461727.1 | 申请日: | 2020-12-11 |
公开(公告)号: | CN112421195A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 代传相;李小珍;邢孟江;张志刚;侯明;刘永红 | 申请(专利权)人: | 云南雷迅科技有限公司 |
主分类号: | H01P1/212 | 分类号: | H01P1/212;H01P1/203;H01P11/00 |
代理公司: | 北京市盈科律师事务所 11344 | 代理人: | 罗东 |
地址: | 650000 云南省昆明*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ipd 吸收 带通滤波器 | ||
1.一种IPD吸收式带通滤波器,包括基体层和基体层下表面的背金层,其特征在于,所述基体层上生长有第一氮化硅层,所述第一氮化硅层上溅射有薄膜电阻层,所述第一氮化硅层上形成有第一金属层,所述第一金属层上生长有第二氮化硅层,所述第二氯化硅层上生长有聚酰亚胺层,所述聚酰亚胺层上形成有第二金属层,所述第二金属层上生长有第三氮化硅层,所述第一金属层和第二金属层上形成滤波器电路结构。
2.根据权利要求1所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述滤波器电路结构包括串联在输入端口和输出端口之间的第一带通信号处理单元和第二式带通信号处理单元,所述第一带通信号处理单元和第二式带通信号处理单元之间设有与接地端口连接的LC并联谐振电路。
3.根据权利要求1所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述第一带通信号处理单元和第二式带通信号处理单元均包括相互并联的带通信号通路和通带外吸收支路。
4.根据权利要求3所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述带通信号通路为LC串联谐振电路,所述通带外吸收支路为LC并联谐振电路与吸收电阻的串联电路。
5.根据权利要求1所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述滤波器电路结构中的电感为平面螺旋电感,形状为圆形电感、正方形电感、长方形电感或多边形电感。
6.根据权利要求1所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述滤波器电路结构中的电容为MIM电容。
7.根据权利要求4所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述吸收电阻为氮化坦薄膜电阻。
8.根据权利要求2所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述接地端口设有4个,两个与输入端口形成GSG共面端口,两个与输出端口形成GSG共面端口。
9.根据权利要求2所述的IPD吸收式带通滤波器,其特征在于:所述接地端口通过晶背穿孔工艺形成连接通孔与背金层连接。
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