[发明专利]检测系统、检测方法及检测设备

权利要求书

1.一种检测系统，其特征在于，包括：

检测元件，用于获取设置在检测设备的光路中的光学元件对所述光路中的光线进行处理输出的光信号的性能值；以及

处理元件，其与所述检测元件通信连接，并且配置为基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值生成对应的处理指令。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述处理元件基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值生成对应的处理指令的过程包括：

基于所述光学元件的光学参数形成对应的预设条件；

比较所述预设条件和所述检测元件获取的所述检测设备中的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值，生成反馈信息；

基于所述反馈信息生成对应的处理指令。

3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述检测元件获取的所述检测设备中的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值是所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑尺寸。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述预设条件包括：所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑中目标区域长度不小于第一预设值，

其中，所述目标区域为所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑中满足预设均匀性的区域。

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述预设条件还包括：所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑区域宽度不大于第二预设值。

6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测元件包括图像采集元件，所述图像采集元件用于采集所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑图像。

7.根据权利要求1-6任一项所述的检测系统，其特征在于，还包括：

调节元件，所述处理元件还与所述调节元件通信连接，并配置为基于所述处理指令生成调节指令，所述调节指令控制所述调节元件调节所述光学元件中被所述光路中的光线照射的位置。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述调节元件为二维调节元件，所述调节元件根据所述调节指令控制所述光学元件在二维平面内运动。

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述调节元件在所述处理元件的控制下带动所述光学元件在预设平面内沿第一方向和/或第二方向移动，

其中，所述预设平面平行于所述光学元件的入射面，所述第一方向和所述第二方向垂直。

10.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，所述调节元件为旋转调节元件，在所述处理元件的控制下带动所述光学元件旋转。

11.根据权利要求1-6任一项所述的检测系统，其特征在于，所述光学元件是分光镜、反射镜、偏振片透镜、棱镜、分划板或滤光片。

12.一种检测方法，其特征在于，应用于检测系统，该方法包括：

通过所述检测系统中的检测元件获取检测设备中的光学元件输出的光信号的性能值，所述光学元件输出的光信号为所述光学元件对所述检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；

基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值生成对应的处理指令。