[发明专利]检测系统、检测方法及检测设备

说明书

本申请公开了一种检测系统、检测方法以及检测设备，该检测系统包括：检测元件和处理元件，其中，所述检测元件用于获取设置在检测设备的光路中的光学元件对所述光路中的光线进行处理输出的光信号的性能值；所述处理元件与所述检测元件通信连接，并且配置为基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的所述光信号的性能值生成对应的处理指令，以便于在保证所述检测设备的检测精度的前提下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种检测系统、一种检测方法以及一种检测设备。

背景技术

随着社会的进步，通讯技术越来越受到人们的重视，为了便于日常生活，人们要求半导体通讯产品变得越来越小巧、轻便，同时功能越来越强大，这就需要半导体芯片拥有“小机身，大功能”，这势必要求半导体行业，尤其是半导体检测行业具有更高的检测精度。

然而，在半导体检测设备的使用过程中，长时间、大功率的光照不可避免的会对光学元件产生损伤，从而影响半导体检测设备的检测精度。重点是半导体行业光学元件成本普遍较高，而且更换困难，有时需要专门的技术人员花费大量的时间和精力来进行反复的调试，因此如何在保证检测设备的检测精度的情况下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命成为本行业亟待解决的技术问题。

申请内容

为解决上述技术问题，本申请提供了一种检测系统、检测方法以及检测设备，以在保证检测设备的检测精度的情况下，提高检测设备中光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命。

为了实现上述目的，本申请提出的技术方案如下：

一种检测系统，包括：

检测元件，用于获取设置在检测设备的光路中的光学元件对所述光路中的光线进行处理输出的光信号的性能值；以及

处理元件，其与所述检测元件通信连接，并且配置为基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值生成对应的处理指令。

可选的，所述处理元件基于所述检测元件获取的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值生成对应的处理指令的过程包括：

基于所述光学元件的光学参数形成对应的预设条件；

比较所述预设条件和所述检测元件获取的所述检测设备中的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值，生成反馈信息；

基于所述反馈信息生成对应的处理指令。

可选的，所述检测元件获取的所述检测设备中的所述光学元件处理所述光线输出的光信号的性能值是所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑尺寸。

可选的，所述预设条件包括：所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑中目标区域长度不小于第一预设值，

其中，所述目标区域为所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑中满足预设均匀性的区域。

可选的，所述预设条件还包括：所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑区域宽度不大于第二预设值。

可选的，所述检测元件包括图像采集元件，所述图像采集元件用于采集所述光学元件处理所述光线输出的光信号的光斑图像。

可选的，所述检测系统还包括：

调节元件，所述处理元件还与所述调节元件通信连接，并配置为基于所述处理指令生成调节指令，所述调节指令控制所述调节元件调节所述光学元件中被所述光路中的光线照射的位置。

可选的，所述调节元件为二维调节元件，所述调节元件根据所述调节指令控制所述光学元件在二维平面内运动。