[发明专利]一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉

权利要求书

1.一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置，其特征在于，包括支架、位于支架上的十字转盘、与十字转盘连接的推杆、若干第一连杆、若干第二连杆、若干第三连杆；

所述十字转盘包括四个自中间位置向外延伸的转臂，四个转臂共同形成“十”字型；十字转盘中间位置与支架铰接且可在支架上转动；每个第一连杆的后端与一个转臂的前端铰接，每个第一连杆的前端与一个第二连杆的后端铰接，每个第二连杆的前端与一个第三连杆的上端铰接，第三连杆自上向下延伸，且每个第三连杆的下端设有一个挂钩；第三连杆与支架的边缘铰接，且第三连杆在第二连杆的带动下，挂钩向外倾斜向外伸出或者向内收回；

当推杆推动十字转盘转动一个角度时，转臂转动而带动第一连杆向外移动，第一连杆带动第二连杆的前端向内移动，第二连杆带动第三连杆的上端向内移动，使第三连杆的下端及挂钩倾斜向外伸出；

当推杆拉回十字转盘时，第三连杆的下端及挂钩倾斜向内收回；

所述支架上设有螺杆，该螺杆上设有滑块，所述滑块与推杆连接，滑块设有内螺纹并与螺杆螺纹连接，螺杆转动时带动滑块沿着螺杆延伸方向移动，滑块移动带动推杆摆动，进而使推杆推动十字转盘转动一个角度；支架上设有承载螺杆的螺杆支座，螺杆的一端设有手轮；

吊架安装在支架上方，包括吊杆及自吊杆向下倾斜延伸的四个斜杆，该四个斜杆长度相同，且四个斜杆的下端分别对应铰接于四个横梁上；

所述支架包括四个分别向四个方形延伸的横梁，且四个横梁共同形成“十”字型，每个第一连杆位于一个横梁上方，每个横梁的外端设有一个铰接支座，所述第三连杆与该铰接支座铰接并向下延伸；所述第二连杆位于该铰接支座上方；螺杆支座安装在其中一个横梁上；

所述推杆与一个第一连杆同时通过一根销轴与一个转臂铰接，推杆与该第一连杆分别铰接于该转臂的上表面及下表面，且推杆与该第一连杆之间形成一个角度。

2.根据权利要求1所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置，其特征在于：用以起吊坩埚托盘，所述坩埚托盘的外缘设有一圈外凸环，所述外凸环的外侧设有若干向内凹陷的凹槽，当挂钩倾斜向内收回时，所述第三连杆的下端收容入凹槽中，且挂钩挂在外凸环的底部。

3.一种单晶炉，其特征在于，该单晶炉具有如权利要求1或2所述的半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置。