[发明专利]一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉

说明书

本发明公开了一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉。该起吊装置通过向下延伸的第三连杆围绕于坩埚托盘四周，且通过挂钩承载坩埚托盘并提拉出。第三连杆的打开与闭合操作均通过位于支架上的第一、第二连杆及十字转盘带动，第一、第二连杆及十字转盘不占用炉内空间，且能够较准确的控制第三连杆开合的角度，避免触碰炉壁。该坩埚起吊装置对炉内空间的占用很少，专用于硅单晶炉内坩埚与炉壁间隙较小的环境中。

技术领域

本发明属于硅单晶炉技术领域。

背景技术

现有技术的半导体技术领域中，需要使用硅单晶炉通过提拉法制备硅片。如公开号为105177701A的中国专利申请，即公开一种现有技术的硅单晶炉。其中晶体位于坩埚中制备，坩埚通过坩埚托盘设置在提拉轴上。坩埚外围为具有热场的炉体。

在单晶炉制备时，需要的工序即包括将坩埚及坩埚托盘自炉体中取出，或者放回至炉体中。而如图1所示，承载坩埚的坩埚托盘1’承载于提拉轴2’上时，在炉体3’中的状态图。由该图1所知，坩埚托盘1’与炉体3’内壁的空隙非常的狭窄，而由于将坩埚及坩埚托盘自炉体中取出或者放回时，不能触碰炉体3’以避免产生杂质污染炉内环境，故对坩埚及坩埚托盘的取放非常麻烦。

故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。

发明内容

发明目的：本发明提供一种硅单晶炉中取放坩埚托盘的专用起吊装置，用以解决如何能够便捷的自炉体内取放坩埚托盘的技术问题。

本发明还提供一种该起吊装置的硅单晶炉。

技术方案：为达到上述目的，本发明可采用如下技术方案：

一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置，包括支架、位于支架上的十字转盘、与十字转盘连接的推杆、若干第一连杆、若干第二连杆、若干第三连杆；

所述十字转盘包括四个自中间位置向外延伸的转臂，四个转臂共同形成“十”字型；十字转盘中间位置与支架铰接且可在支架上转动；每个第一连杆的后端与一个转臂的前端铰接，每个第一连杆的前端与一个第二连杆的后端铰接，每个第二连杆的前端与一个第三连杆的上端铰接，第三连杆自上向下延伸，且每个第三连杆的下端设有一个挂钩；第三连杆与支架的边缘铰接，且第三连杆在第二连杆的带动下，挂钩向外倾斜向外伸出或者向内收回；

当推杆推动十字转盘转动一个角度时，转臂转动而带动第一连杆向外移动，第一连杆带动第二连杆的前端向内移动，第二连杆带动第三连杆的上端向内移动，使第三连杆的下端及挂钩倾斜向外伸出；

当推杆拉回十字转盘时，第三连杆的下端及挂钩倾斜向内收回。

进一步的，所述支架上设有螺杆，该螺杆上设有滑块，所述滑块与推杆连接，滑块设有内螺纹并与螺杆螺纹连接，螺杆转动时带动滑块沿着螺杆延伸方向移动，滑块移动带动推杆摆动，进而使推杆推动十字转盘转动一个角度。

进一步的，所述支架上设有承载螺杆的螺杆支座，螺杆的一端设有手轮。

进一步的，还包括坩埚托盘，所述坩埚托盘的外缘设有一圈外凸环，所述外凸环的外侧设有若干向内凹陷的凹槽，当挂钩倾斜向内收回时，所述第三连杆的下端收容入凹槽中，且挂钩挂在外凸环的底部。

进一步的，每个第一连杆位于一个横梁上方，每个横梁的外端设有一个铰接支座，所述第三连杆与该铰接支座铰接并向下延伸；所述第二连杆位于该铰接支座上方；螺杆支座安装在其中一个横梁上。

进一步的，所述推杆与一个第一连杆同时通过一根销轴与一个转臂铰接，推杆与该第一连杆分别铰接于该转臂的上表面及下表面，且推杆与该第一连杆之间形成一个角度。