[发明专利]掩膜板在审
| 申请号： | 202011471339.1 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112501552A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵建成;徐鹏;王玉;张国栋;邓江涛;赵钰;肖磊芳;王笑鸽;张强;李仁佑;李旭伟;杭宗秋;赵天龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 贾敏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：
框架；
以及，位于所述框架上的掩膜支架，所述掩膜支架包括安装于所述框架上的多个第一支撑条和多个遮挡条，所述多个第一支撑条和所述多个遮挡条交错排布，所述遮挡条朝向蒸镀材料的一侧具有第一凹槽；
以及，至少一个第二支撑条，每个所述第二支撑条均具有对应的第一支撑条，所述第二支撑条层叠在对应的第一支撑条上；
以及，位于设置有所述第二支撑条的框架上的多个掩膜条。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述多个第一支撑条在所述框架上沿第一方向排布；
所述多个第一支撑条的数量为偶数时，所述多个第一支撑条中位于中间的2n个第一支撑条上层叠有所述第二支撑条，所述n大于或等于1；
所述多个第一支撑条的数量为奇数时，所述多个第一支撑条中位于中间的2m+1个第一支撑条上层叠有所述第二支撑条，所述m大于或等于0。
3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二支撑条在对应的第一支撑条上的正投影位于对应的第一支撑条中。
4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二支撑条与对应的第一支撑条焊接。
5.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述多个遮挡条在所述框架上沿第二方向排布，所述第二方向与所述第一方向垂直；
所述掩膜条沿长度方向的两个边分别搭接在相邻的两个所述遮挡条上，所述遮挡条上的第一凹槽包括沿所述遮挡条的长度方向延伸的第一条形槽。
6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽包括多个第一条形槽，所述多个第一条形槽沿所述遮挡条的长度方向排布。
7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜条上具有由所述多个第一支撑条划分的a个掩膜区域，所述掩膜区域位于所述第一支撑条的两侧；
所述遮挡条上具有a个所述第一条形槽，所述第一条形槽位于所述第一支撑条的两侧。
8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括对位掩膜条，所述对位掩膜条位于所述掩膜支架的边缘，且所述对位掩膜条沿长度方向的两个边分别搭接在所述框架和所述掩膜支架的边缘的遮挡条上，所述对位掩膜条朝向蒸镀材料的一侧具有第二凹槽。
9.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述框架在所述对位掩膜条上的正投影与所述第二凹槽所在的区域存在重叠区域；
所述掩膜支架的边缘的遮挡条在所述对位掩膜条上的正投影与所述第二凹槽所在的区域存在重叠区域。
10.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述对位掩膜条朝向蒸镀材料的一侧具有多个所述第二凹槽。
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