[发明专利]掩膜板在审
申请号: | 202011471339.1 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN112501552A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 赵建成;徐鹏;王玉;张国栋;邓江涛;赵钰;肖磊芳;王笑鸽;张强;李仁佑;李旭伟;杭宗秋;赵天龙 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 贾敏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 | ||
本申请公开了一种掩膜板,属于显示技术领域。掩膜板包括:框架以及位于框架上的掩膜支架,掩膜支架包括安装于框架上的多个第一支撑条和多个遮挡条,多个第一支撑条和多个遮挡条交错排布,遮挡条朝向蒸镀材料的一侧具有第一凹槽;掩膜板还包括至少一个第二支撑条,每个第二支撑条均具有对应的第一支撑条,第二支撑条层叠在对应的第一支撑条上;掩膜板还包括位于设置有第二支撑条的框架上的多个掩膜条。双层支撑条的结构提高了对于掩膜条的支撑效果,减少了掩膜条的下垂量。解决了掩膜条的下垂量较大导致掩膜条与衬底基板贴合不良的问题,达到了减少掩膜条的下垂量以及提高掩膜条与衬底基板贴合的紧密性的效果。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,特别涉及一种掩膜板。
背景技术
目前,制作显示面板的发光层时,通过蒸镀的方式使电致发光材料先升华,经过掩膜板后在与掩膜板贴合的衬底基板上沉积,进而形成蒸镀图案,以达到发光的目的。因此,掩膜板的性能直接关系到OLED显示面板的质量。
一种掩膜板,包括框架以及设置在框架上的掩膜条及掩膜支架,掩膜支架包括多个支撑条及遮挡条,通过支撑条支撑掩膜条,以避免掩膜条的下垂量过大。
上述方法中,支撑条对于掩膜条的支撑力可能不足,导致掩膜条的下垂量较大,进而导致掩膜板的性能较差。
发明内容
本申请实施例提供了一种掩膜板,所述技术方案如下:
根据本申请的第一方面,提供了一种掩膜板,所述掩膜板包括:
框架;
以及,位于所述框架上的掩膜支架,所述掩膜支架包括安装于所述框架上的多个第一支撑条和多个遮挡条,所述多个第一支撑条和所述多个遮挡条交错排布,所述遮挡条朝向蒸镀材料的一侧具有第一凹槽;
以及,至少一个第二支撑条,每个所述第二支撑条均具有对应的第一支撑条,所述第二支撑条层叠在对应的第一支撑条上;
以及,位于设置有所述第二支撑条的框架上的多个掩膜条。
可选地,所述多个第一支撑条在所述框架上沿第一方向排布;
所述多个第一支撑条的数量为偶数时,所述多个第一支撑条中位于中间的2n个第一支撑条上层叠有所述第二支撑条,所述n大于或等于1;
所述多个第一支撑条的数量为奇数时,所述多个第一支撑条中位于中间的2m+1个第一支撑条上层叠有所述第二支撑条,所述m大于或等于0。
可选地,所述第二支撑条在对应的第一支撑条上的正投影位于对应的第一支撑条中。
可选地,所述第二支撑条与对应的第一支撑条焊接。
可选地,所述多个遮挡条在所述框架上沿第二方向排布,所述第二方向与所述第一方向垂直;
所述掩膜条沿长度方向的两个边分别搭接在相邻的两个所述遮挡条上,所述遮挡条上的第一凹槽包括沿所述遮挡条的长度方向延伸的第一条形槽。
可选地,所述第一凹槽包括多个第一条形槽,所述多个第一条形槽沿所述遮挡条的长度方向排布。
可选地,所述掩膜条上具有由所述多个第一支撑条划分的a个掩膜区域,所述掩膜区域位于所述第一支撑条的两侧;
所述遮挡条上具有a个所述第一条形槽,所述第一条形槽位于所述第一支撑条的两侧。
可选地,所述掩膜板还包括对位掩膜条,所述对位掩膜条位于所述掩膜支架的边缘,且所述对位掩膜条沿长度方向的两个边分别搭接在所述框架和所述掩膜支架的边缘的遮挡条上,所述对位掩膜条朝向蒸镀材料的一侧具有第二凹槽。
可选地,所述框架在所述对位掩膜条上的正投影与所述第二凹槽所在的区域存在重叠区域;
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