[发明专利]硅片目检辅助装置和硅片目检方法

权利要求书

1.一种硅片目检辅助装置，其特征在于，包括硅片夹持结构、反射结构和成像结构；

所述成像结构包括一成像面，所述成像面具有相邻或相间隔设置的第一区域和第二区域；

所述反射结构包括设置于所述硅片夹持结构相对的两侧的第一反射单元和第二反射单元，所述第一反射单元用于将硅片的第一面的待检区域成像于所述第一区域，所述第二反射单元用于将硅片的与所述第一面相背的第二面的待检区域成像于所述第二区域。

2.根据权利要求1所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，还包括旋转结构，用于控制所述硅片夹持结构旋转，以使得硅片的第一面的不同的待检区域成像于所述第一区域，并使得硅片的第二面的不同的待检区域成像于所述第二区域。

3.根据权利要求2所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，所述硅片夹持结构包括固定部、环形本体和至少两个夹持件，所述环形本体可旋转的固定于所述固定部上，至少两个所述夹持件固定于所述环形本体上，每个所述夹持件包括与所述环形本体连接的连接杆，所述连接杆的第一端连接于所述环形本体上，所述连接杆的第二端向所述环形本体的中心延伸设置，所述连接杆的第二端设置有用于夹持硅片的夹持部。

4.根据权利要求3所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，所述固定部包括位于所述环形本体在轴向方向相对的两侧的两个轴承，所述轴承包括内圈和外圈，所述内圈和外圈之间设置有滚珠，所述环形本体套设于两个所述轴承的所述内圈上，所述环形本体旋转时，所述内圈转动，所述外圈固定不动。

5.根据权利要求4所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，所述旋转结构包括驱动电机、传动轴和皮带，所述传动轴与所述驱动电机传动连接，所述皮带缠绕于所述传动轴与所述环形本体的外周面。

6.根据权利要求3所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，所述环形本体上固定有三个所述夹持件，三个所述夹持件沿所述环形本体的周向方向均匀设置。

7.根据权利要求1所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，还包括分别设置于所述硅片夹持结构的相对的两侧的光源。

8.根据权利要求1所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，所述成像结构包括至少一镜片，所述镜片上具有所述成像面，所述镜片位于目检人员的水平视角范围内，或者所述镜片位于人眼水平视线的上方。

9.一种硅片目检方法，应用于权利要求1-8任一项所述的硅片目检辅助装置，其特征在于，包括以下步骤：

夹持固定硅片，使得硅片的第一面的待检区域成像于成像面的第一区域，硅片的第二面的待检区域成像于成像面的第二区域，所述第一区域与所述第二区域相邻或相间隔设置；

旋转硅片，使得硅片的第一面的不同的待检区域成像于所述第一区域，硅片的第二面的不同的待检区域成像于所述第二区域。