[发明专利]硅片目检辅助装置和硅片目检方法

说明书

本发明涉及一种硅片目检辅助装置和硅片目检方法，所述硅片目检辅助装置包括硅片夹持结构、反射结构和成像结构；所述成像结构包括一成像面，所述成像面具有相邻或相间隔设置的第一区域和第二区域；所述反射结构包括设置于所述硅片夹持结构的相对的两侧的第一反射单元和第二反射单元，所述第一反射单元用于将硅片的第一面成像于所述第一区域，所述第二反射单元用于将硅片的与所述第一面相背的第二面成像于所述第二区域。本发明解决硅片目检效率低且容易被污染的问题。

技术领域

本发明涉及硅片检测技术领域，尤其涉及一种硅片目检辅助装置和硅片目检方法。

背景技术

在硅片加工产线中，对于目视检查目前存在两种方式：一种是人工检查，目检人员通过肉眼进行判定硅片是否合格，另外一种是自动检查，将光信号转化成数据，由电脑处理数据判断硅片是否合格。

人工检查的优点是对于较轻微的缺陷，人眼识别更清晰，因为人眼对于细微的内容是灵敏的，另外对于一些首次出现的缺陷，人工检查可以起到一个预警的作用，而不是简单地判定，但是人工目检过程一般先看硅片正面，硅片正面检查完后将硅片进行翻转，然后查看硅片背面，效率低，且人员检查时间越长，造成硅片被污染的机率越大。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种硅片目检辅助装置和硅片目检方法，解决硅片目检效率低且容易被污染的问题。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种硅片目检辅助装置，包括硅片夹持结构、反射结构和成像结构；

所述成像结构包括一成像面，所述成像面具有相邻或相间隔设置的第一区域和第二区域；

所述反射结构包括设置于所述硅片夹持结构相对的两侧的第一反射单元和第二反射单元，所述第一反射单元用于将硅片的第一面成像于所述第一区域，所述第二反射单元用于将硅片的与所述第一面相背的第二面成像于所述第二区域。

可选的，还包括旋转结构，用于控制所述硅片夹持结构旋转，以使得硅片的第一面的不同的待检区域成像于所述第一区域，并使得硅片的第二面的不同的待检区域成像于所述第二区域。

可选的，所述硅片夹持结构包括固定部、环形本体和至少两个夹持件，所述环形本体可旋转的固定于所述固定部上，至少两个所述夹持件固定于所述环形本体上，每个所述夹持件包括与所述环形本体连接的连接杆，所述连接杆的第一端连接于所述环形本体上，所述连接杆的第二端向所述环形本体的中心延伸设置，所述连接杆的第二端设置有用于夹持硅片的夹持部。

可选的，所述固定部包括位于所述环形本体相对的两侧的两个轴承，所述轴承包括内圈和外圈，所述内圈和外圈之间设置有滚珠，所述环形本体套设于两个所述轴承的所述内圈上，所述环形本体旋转时，所述内圈转动，所述外圈固定不动。

可选的，所述旋转结构包括驱动电机、传动轴和皮带，所述传动轴与所述驱动电机传动连接，所述皮带缠绕于所述传动轴与所述环形本体的外周面。

可选的，所述环形本体上固定有三个所述夹持件，三个所述夹持件沿所述环形本体的周向方向均匀设置。

可选的，还包括分别设置于所述硅片夹持结构的相对的两侧的光源。

可选的，所述成像结构包括至少一镜片，所述镜片上具有所述成像面，所述镜片位于目检人员的水平视角范围内，或者所述镜片位于人眼水平视线的上方。

本发明实施例还提供一种硅片目检方法，应用于上述的硅片目检辅助装置，包括以下步骤：

夹持固定硅片，使得硅片的第一面的待检区域成像于成像面的第一区域，硅片的第二面的待检区域成像于成像面的第二区域，所述第一区域与所述第二区域相邻或相间隔设置；

旋转硅片，使得硅片的第一面的不同的待检区域成像于所述第一区域，硅片的第二面的不同的待检区域成像于所述第二区域。