[发明专利]一种晶圆上镀银添加剂的制备方法在审
| 申请号： | 202011472019.8 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN112593263A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 涂利彬;肖广源 | 申请（专利权）人： | 上海华友金裕微电子有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/46 | 分类号： | C25D3/46;C25D7/12 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 201700 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆上 镀银 添加剂 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆上镀银添加剂的制备方法，其特征在于：该制备方法包括以下步骤：
步骤一、准备原料、取适量的二甲基海因，按质量比在搅拌槽中加入纯水进行搅拌；
步骤二、按质量比加入一定量的表面活性剂、充分搅拌；
步骤三、搅拌好的溶液经过滤芯进行过滤，得到低温镀银添加剂；
步骤四、对低温镀银添加剂成品进行封装储藏。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆上镀银添加剂的制备方法，其特征在于：所述步骤二搅拌过程中溶液的温度控制在10-30℃，搅拌时间为2-4小时。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆上镀银添加剂的制备方法，其特征在于：该所述表面活性剂的主要成分为聚乙二醇。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆上镀银添加剂的制备方法，其特征在于：步骤三中使用过滤机进行过滤，且该过滤机的滤芯精度为1-10um。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆上镀银添加剂的制备方法，其特征在于：所述二甲基海因与聚乙二醇的质量比为10-30％：3-5％，且按比例加入余量的纯水。
6.根据权利要求1所述的低温镀银添加剂，其特征在于：该所述低温镀银添加剂可在10-30℃正常电镀。
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