[发明专利]用于检查大型样本的断层摄影装置

权利要求书

1.一种断层摄影装置，其特征在于，包括：

两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；

驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及

样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。

2.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述样本(5)是不能够由一个光干涉断层摄影部(30、40)检查整体面积的大型检查对象物，并且是具有样本(5)的高度根据样本(5)的位置而不同的三维立体结构的检查对象物。

3.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述样本安装部(50)包括安装样本(5)的样本固定部(52)和用于向样本(5)的长度方向移送所述样本固定部(52)的移送轨道(54)。

4.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述光干涉断层摄影部(30、40)包括第一光干涉断层摄影部(30)和第二光干涉断层摄影部(40)，第一光干涉断层摄影部(30)的第一线扫描区域(30x)与第二光干涉断层摄影部(40)的第二线扫描区域(40x)在样本(5)的线扫描方向上重叠，但在样本(5)的移送方向上隔开。

5.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述样本安装部(50)使样本(5)相对于线扫描方向的垂直方向倾斜规定的角度(a)而移动。

6.根据权利要求5所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述样本(5)的移动角度(a)为3至45度。

7.根据权利要求1所述的断层摄影装置，其特征在于，

驱动所述光干涉断层摄影部(30、40)的驱动部(32、42)位于光干涉断层摄影部(30、40)的侧面，并且所述断层摄影装置还包括制动部(34、44)，该制动部(34、44)在所述驱动部(32、42)的相对侧弹性支撑光干涉断层摄影部(30、40)。

8.根据权利要求7所述的断层摄影装置，其特征在于，

所述制动部(34、44)包括：

制动部外壳(70)，其在制动方向上形成有滑动槽(72)；

制动轴(74)，其插入于所述制动部外壳(70)的滑动槽(72)并在制动方向上滑动移动，并支撑光干涉断层摄影部(30、40)；以及

弹性部(76)，其插入于所述制动部外壳(70)的滑动槽(72)并弹性支撑所述制动轴(74)。