[发明专利]用于检查大型样本的断层摄影装置

说明书

本发明公开一种断层摄影装置，其能够非破坏性地检查用于平板电脑的显示器、用于车辆的仪表板等大型样本的表面和内部。所述断层摄影装置包括：两个以上的光干涉断层摄影部(30、40)，其在样本(5)的线扫描方向上依次配置并对样本(5)进行断层摄影，并且配置为在所述线扫描方向上使各个光干涉断层摄影部(30、40)的线扫描区域部分地重叠；驱动部(32、42)，其调节各个所述光干涉断层摄影部(30、40)的高度，以使各个光干涉断层摄影部(30、40)从样本(5)的检查面隔开规定距离；以及样本安装部(50)，其安装样本(5)，并且用于向不同于线扫描方向的方向移送所安装的样本(5)。

技术领域

本发明涉及一种断层摄影装置，更详细而言，涉及一种非破坏性地检查用于平板电脑的的显示器、用于车辆的仪表板等大型样本的表面和内部的断层摄影装置。

背景技术

智能手机、平板电脑、用于车辆的仪表板等现代电子设备通过将合成树脂膜、玻璃基板、金属成分、颜料等各种物质层叠为多层来制造。在这种多层层叠产品的各制造步骤中，为了检查外部异物的流入、破损等产品的不良与否，通常使用一种提取产品样本，并破坏样本来用肉眼检查产品的破坏性检查方法。然而，这种方法不但存在要毁损价昂的半成品或成品的问题，还存在无法有效地检查薄膜化及大型化的电子设备的内部缺陷的问题。

韩国专利公开第10-2015-0056713号中公开了一种为了非破坏性地检查检查对象物而利用光干涉断层摄影(Optical coherence tomography；OCT)的技术。在光干涉断层摄影(OCT)中，为了使近红外线光透射至检查对象物，对由检查对象物的表面及内部的各断层反射的反射光(散射光)进行检测，并对检查对象物的表面及内部进行断层摄影。图1是在通常的断层摄影装置中使用的光干涉断层摄影部20的构造框图。如图1所示，通常的光干涉断层摄影部20包括光源22、分束器23(Beam splitter)、参考镜24(Reference mirror)、扫描部25以及光检测器26(Photo Detector)。所述光源22产生入射至检查对象物5的内部的测量光L。所述分束器23将测量光L分割为参考光R和测量光L，并将参考光R照射至参考镜24，将测量光L照射至检查对象物5。所述参考镜24反射参考光R以产生参考R1，并且远离或靠近分束器20时改变参考反射光R1的光路长度(Optical path length：OPL)。所述扫描部25将由分束器23分割的测量光L通过物镜10引导至检查对象物5，并且依次改变测量光L的反射角度来扫描(scan)检查对象物5的表面。作为所述扫描部25，可以使用通过由通常的检流计(galvanometer)调节反射角度来扫描测量光L的反射镜。当所述测量光L照射至检查对象物5的内部时，测量光L在检查对象物5的内部的各断层散射和反射，从而生成微细的信号反射光S。

所生成的信号反射光S通过物镜10和扫描部25重新被引导至分束器23，并由分束器23对信号反射光S和参考反射光R1进行叠加(superimpose)。当所述信号反射光S与参考反射光R1的光路长度相同时，所叠加的信号反射光S与参考反射光R1发生干涉而生成干涉光I(interference light)，因此，通过利用光检测器26检测干涉光I，可以获得检查对象物5的内部断层影像信号。在图1中，附图标记28a是对测量光L进行聚束的通常的聚束透镜28a。在图1所示的通常的断层摄影装置中，将在规定位置获得对应于检查对象物5的深度(xyz正交坐标系的z方向)的断层影像的过程称为一维扫描(A-scan，点扫描)，将利用扫描部25在规定方向(例如，x方向)上移动测量光L而执行一维扫描(A-scan)来获得一个切面影像称为二维扫描(B-scan，线扫描)，在不同于二维扫描的方向(例如，y方向)上移动测量光L而执行二维扫描(B-scan)来获得检查对象物5的内部立体影像称为三维扫描(C-scan)。