[发明专利]抛光液供给装置有效
| 申请号： | 202011489844.9 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112658991B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B51/00;G01S17/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 供给 装置 | ||
1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：
第一容器，用以盛放二氧化硅溶液；
第二容器，用以盛放有机聚合物溶液；
透光的第三容器，用以盛放有机聚合物溶液与二氧化硅溶液的混合液；
所述第一容器的出液口、所述第二容器的出液口分别与所述第三容器的进液口连通，所述第一容器的出液口与所述第三容器的进液口之间设置有过滤器；
所述第三容器的外壁设置有激光雷达传感器，用以检测所述第三容器的内壁是否存在颗粒物。
2.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：
设置在所述第三容器的出液口的阀门；
控制机构，用于接收所述激光雷达传感器的信号，在所述激光雷达传感器检测所述第三容器的内壁存在颗粒物时，控制所述阀门关闭。
3.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：
报警单元，用于在所述激光雷达传感器检测所述第三容器的内壁存在颗粒物时，进行报警。
4.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述过滤器的过滤直径为0.1～5um。
5.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，还包括：
喷洒单元，用于在所述第三容器盛放混合液之前，将有机聚合物溶液均匀喷洒在所述第三容器的内壁形成保护膜。
6.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述激光雷达传感器包括至少一组激光器和检测传感器，每组的激光器和检测传感器分别设置在所述第三容器的同一侧，所述激光器用于向所述第三容器内发射激光，所述激光穿过所述第三容器被第三容器的内壁反射后被对应的检测传感器接收。
7.根据权利要求6所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述激光雷达传感器包括多组激光器和检测传感器，所述多组激光器和检测传感器沿所述第三容器的第一方向排布。
8.根据权利要求6所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述检测传感器包括逐点扫描式检测传感器和整幅扫描式检测传感器。
9.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述第三容器采用聚碳酸酯PC或聚氯乙烯PVC制作。
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