[发明专利]一种进口过渡真空腔体和磁控溅射镀膜生产线

权利要求书

1.一种进口过渡真空腔体，其特征在于，包括：

底座(1)，所述底座(1)与壳体(2)焊接固定，所述壳体(2)一侧开设有若干玻璃插片架通道(3)，所述玻璃插片架通道(3)内螺栓固定安装有玻璃插片架(4)，所述壳体(2)一侧分别开设有进架通道(5)和出架通道(6)，所述进架通道(5)和出架通道(6)分别与镀膜舱(7)和转运舱(8)开设的相应通道相连通；

转运架(9)，所述转运架(9)活动安装在底座(1)上，所述转运架(9)通过平移机构(10)沿底座(1)进行纵向平移，所述转运架(9)上活动连接有玻璃插架(11)；

插片机械手(12)，所述插片机械手(12)用于夹取玻璃并将玻璃插片架(4)上的玻璃转运至玻璃插架(11)上；

所述转运架(9)包括转运台(14)，所述转运台(14)两端通过支撑架(15)与顶部的插架吸附板(16)固定连接，所述转运台(14)上间隔均匀设置有若干转运辊轮(17)。

2.根据权利要求1所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述镀膜舱(7)、转运舱(8)及壳体(2)顶部均安装有真空泵(13)。

3.根据权利要求1所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述转运台(14)两侧沿转运架(9)平移方向开设有贯穿的螺纹通孔(18)，所述平移机构(10)包括平移电机(19)和平移丝杆(20)，所述平移丝杆(20)固定连接在平移电机(19)的驱动轴上，所述平移丝杆(20)与螺纹通孔(18)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述转运台(14)底部两侧均固定安装有滑块(21)，所述滑块(21)分别活动安装在滑槽(22)内，所述滑槽(22)开设在底座(1)内。

5.根据权利要求1所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述转运辊轮(17)通过转运电机驱动。

6.根据权利要求1所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述玻璃插架(11)上间隔均匀设置有若干插片间隔(23)，若干所述插片间隔(23)上下两端的玻璃插架(11)上均固定安装有一一对应的玻璃固定弹片(24)。

7.根据权利要求6所述的一种进口过渡真空腔体，其特征在于：所述玻璃插架(11)顶部开设有磁铁安装槽(25)，所述磁铁安装槽(25)内均匀排列有吸附磁铁(26)，所述吸附磁铁(26)与插架吸附板(16)底部安装的磁铁异级吸附式排列。

8.一种磁控溅射镀膜生产线，包括用于玻璃插架(11)移动的真空腔体，其特征在于：该磁控溅射镀膜生产线采用权利要求1-7任意一项所述的进口过渡真空腔体。