[发明专利]控制电路、脉冲电源系统和半导体加工设备

权利要求书

1.一种控制电路，用于将直流信号以脉冲信号方式输出，其特征在于，所述控制电路包括储能模块和开关电路，其中，

所述开关电路具有第一端、第二端、第三端、第四端以及第一控制端和第二控制端，其中所述第一端和所述第二端作为直流信号的输入端，所述第三端和所述第四端作为所述脉冲信号的输出端，所述第一控制端和所述第二控制端用于接收第一信号和第二信号以控制所述脉冲信号的输出，在所述第一控制端和第二控制端接收所述第一信号时，所述第三端和第四端输出所述脉冲信号；在所述第一控制端和第二控制端接收所述第二信号时，所述第三端和第四端停止输出所述脉冲信号；

所述储能模块的两端分别与所述开关电路的第一端和第二端连接，用于在所述开关电路不输出所述脉冲信号时，存储所述开关电路中的剩余电能。

2.根据权利要求1所述的控制电路，其特征在于，所述开关电路包括第一开关单元和第二开关单元；其中，

所述第一开关单元的第一端和第二端与所述第二开关单元的第一端和第二端用于作为所述直流信号的输入端，且所述第一开关单元的第一端分别与所述储能模块的第一端和所述第二开关单元的第一端连接，所述第一开关单元的第二端分别与所述储能模块的第二端和所述第二开关单元的第二端连接；所述第一开关单元的控制端和所述第二开关单元的控制端用于接收所述第一信号或所述第二信号；所述第一开关单元的第三端和所述第二开关单元的第三端用于输出所述脉冲信号；

所述第一开关单元用于在所述第一开关单元的控制端接收所述第一信号时，接通所述第一开关单元的第一端与所述第一开关单元的第三端之间的电路，断开所述储能模块的第二端和所述第一开关单元的第三端之间的电路；在所述第一开关单元的控制端接收所述第二信号时，断开所述第一开关单元的第一端和所述第一开关单元的第三端之间的电路，接通所述储能模块的第二端和所述第一开关单元的第三端之间的电路；

所述第二开关单元用于在所述第二开关单元的控制端接收所述第一信号时，接通所述第二开关单元的第二端与所述第二开关单元的第三端之间的电路，断开所述储能模块的第一端与所述第二开关单元的第三端之间的电路；在所述第二开关单元的控制端接收所述第二信号时，断开所述第二开关单元的第二端与所述第二开关单元的第三端之间的电路，接通所述储能模块的第一端与所述第二开关单元的第三端之间的电路。

3.根据权利要求2所述的控制电路，其特征在于，所述第一开关单元包括第一开关晶体管和第一截止二极管；其中，

所述第一开关晶体管的输入端和所述第一截止二极管的输入端用于作为所述直流信号的输入端，且所述第一开关晶体管的输入端与所述储能模块的第一端连接；所述第一截止二极管的输入端与所述储能模块的第二端连接；所述第一开关晶体管的输出端用于输出所述脉冲信号，且与所述第一截止二极管的输出端连接，所述第一开关晶体管的控制端用于接收所述第一信号或所述第二信号；

在所述控制端接收所述第一信号时，所述第一开关晶体管用于导通所述第一开关晶体管的输入端与输出端之间的电路，所述第一截止二极管用于断开所述储能模块的第二端与所述第一截止二极管的输出端之间的电路；在所述控制端接收所述第二信号时，所述第一开关晶体管用于断开所述第一开关晶体管的输入端与输出端之间的电路，所述第一截止二极管用于导通所述储能模块的第二端与所述第一截止二极管的输出端之间的电路。

4.根据权利要求3所述的控制电路，其特征在于，所述第一开关晶体管所采用的材料包括Si、SiC、GaN以及AlGaN中的任意一种。