[发明专利]超纯硫酸中二氧化硫的去除方法

权利要求书

1.一种超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，以过氧化氢的硫酸溶液作为氧化剂，在密闭容器中氧化超纯硫酸中的二氧化硫，使超纯硫酸中二氧化硫的含量低于5ppm。

2.根据权利要求1所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述过氧化氢的硫酸溶液中，所述过氧化氢的质量浓度为5～10%。

3.根据权利要求2所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述过氧化氢的硫酸溶液的配置方法为：将超纯双氧水溶液加入到超纯浓硫酸中制备得到。

4.根据权利要求3所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述超纯双氧水溶液的质量浓度为30～50%。

5.根据权利要求3所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述超纯浓硫酸的质量浓度为60～80%。

6.根据权利要求1所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述氧化的工艺条件为：温度10～50℃，搅拌混合20～40min。

7.根据权利要求6所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述搅拌混合的时间为20～30min。

8.根据权利要求7所述的超纯硫酸中二氧化硫的去除方法，其特征在于，所述搅拌混合的方法为搅拌器搅拌或循环泵循环。