[发明专利]单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件

权利要求书

1.一种单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，包括：

除尘装置(1)，所述除尘装置(1)为多个，每个所述除尘装置(1)上设有第一进气管路(11)，所述第一进气管路(11)适于与所述单晶炉的排气口连通，所述第一进气管路(11)上设有第一开关阀(11a)，每个所述除尘装置(1)包括过滤单元，所述过滤单元用于过滤所述单晶炉排放的气体；

储气装置(2)，所述储气装置(2)上设有多个出气管路(21)，每个所述除尘装置(1)分别通过一个所述出气管路(21)与所述储气装置(2)连通，所述出气管路(21)上设有第二开关阀(21a)；

第一真空装置(3)，所述第一真空装置(3)上设有多个第一真空管路(31)，每个所述除尘装置(1)分别通过一个所述第一真空管路(31)与所述第一真空装置(3)连通，所述第一真空管路(31)上设有第一真空阀(31a)；

第二真空装置(4)，所述第二真空装置(4)上设有多个第二真空管路(41)，每个所述除尘装置(1)分别通过一个所述第二真空管路(41)与所述第二真空装置(4)连通，所述第二真空管路(41)上设有第二真空阀(41a)。

2.根据权利要求1所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，每个所述除尘装置(1)上还设有第二进气管路(12)，所述第二进气管路(12)用于向所述除尘装置(1)内通入空气，所述第二进气管路(12)上设有第三开关阀(12a)。

3.根据权利要求1所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，所述储气装置(2)上设有进气管路(22)，所述进气管路(22)用于向所述储气装置(2)通入存储气体，且所述进气管路(22)上设有第四开关阀(22a)和单向阀(22b)。

4.根据权利要求1所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，每个所述除尘装置(1)上设有真空开关(14)，所述真空开关(14)用于检测所述除尘装置(1)内的真空度，且所述真空开关(14)与所述第二开关阀(21a)通信以控制所述第二开关阀(21a)动作。

5.根据权利要求1所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，所述除尘装置(1)和/或所述储气装置(2)上设有压力检测装置(5)和/或安全阀(6)。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，其特征在于，所述过滤单元包括硬质滤芯；

任选地，所述硬质滤芯包括无机烧结多孔材料件，或者，所述硬质滤芯包括骨架和设在所述骨架上的多层丝网。

7.一种单晶炉组件，其特征在于，包括：

单晶炉；

除尘过滤系统(100)，所述除尘过滤系统(100)为根据权利要求1-6中任一项所述的单晶炉的除尘过滤系统(100)，且与所述单晶炉连通。

8.一种除尘过滤系统(100)的控制方法，其特征在于，所述除尘过滤系统(100)包括储气装置(2)和多组相互独立的装置组(10)，每组所述装置组(10)包括至少一个除尘装置(1)，且每组所述装置组(10)具有可相互切换的工作状态和非工作状态，在所述工作状态，所述装置组(10)用于独立过滤单晶炉排放的气体，在所述非工作状态，所述装置组(10)适于与所述单晶炉隔断，

所述控制方法包括：

多组所述装置组(10)切换式地处于所述工作状态，其中，在切换过程中，切换的两组所述装置组(10)均适于与单晶炉连通，在切换完成后，所述储气装置(2)向由所述工作状态切换至所述非工作状态的所述装置组(10)通入气体以对所述装置组(10)进行除尘处理。