[发明专利]全息激光发射器及其制造方法

说明书

本申请公开了一种全息激光发射器及其制造方法，该全息激光发射器包括：激光发射模组，激光发射模组包括第一衬底以及设置于第一衬底上的发光功能膜层；体全息光栅模组，体全息光栅模组设置于发光功能膜层远离第一衬底一侧的透光区域。该全息激光发射器可以发射角度更小，具有特定偏振模式和特定波长的高功率激光。

技术领域

本申请一般涉及激光成像技术领域，具体涉及一种全息激光发射器及其制造方法。

背景技术

激光器是利用受激辐射原理使光在某些受激发的物质中放大或振荡发射激光(laser)的器件。

垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser，VCSEL)为一种新型激光器，其具有高功率、单纵模、长寿命、可输出圆形光斑以及易于集成整合等特点，在通信和3D感测等领域有着较为广泛的应用。

但是，随着对VCSEL的激光发射功率的要求越来越高，导致激光器发射激光的出光角度却越大，激光的选模与偏振性调制难度加大，这制约了VCSEL在很多重要领域的应用。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可以发射角度小、激光波长和偏振模式可控的高功率激光的全息激光发射器及其制造方法。

第一方面，本申请提供了一种全息激光发射器，包括：

激光发射模组，激光发射模组包括第一衬底以及设置于第一衬底上的发光功能膜层；

体全息光栅模组，体全息光栅模组设置于发光功能膜层远离第一衬底一侧的透光区域；

第二方面，本申请提供了一种全息激光发射器的制造方法，包括：

在第二衬底上依次形成体全息材料膜层和保护膜，得到体全息模组；

按照预设角度向体全息模组透射预设波长的干涉光，对体全息模组进行曝光，得到体全息光栅模组；

将体全息光栅模组贴覆于激光发射模组的透光区域，得到全息激光发射器，全息激光发射器用于发射预设波长和偏振模式的激光。

本申请的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本申请实施例提供的全息激光发射器及其制造方法，该全息激光发射器包括：激光发射模组，激光发射模组包括第一衬底以及设置于第一衬底上的发光功能膜层；体全息光栅模组，体全息光栅模组设置于发光功能膜层远离第一衬底一侧的透光区域。该全息激光发射器可以发射角度更小，具有特定偏振模式和特定波长的高功率激光。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请实施例提供的一种全息激光发射器的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种体全息光栅模组的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的另一种全息激光发射器的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的另一种全息激光发射器的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的一种体全息光栅膜层的厚度与衍射效率的关系示意图；

图6为本申请实施例提供的另一种全息激光发射器的制造方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。