[发明专利]一种显影装置

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，包括喷嘴、载物台、与所述载物台驱动连接的旋转驱动机构和与所述喷嘴驱动连接的直线驱动机构，所述载物台用于承载芯片，所述喷嘴设置在所述载物台上方，所述喷嘴上设有至少两个出液孔，所述出液孔用于朝向所述载物台表面喷吐显影液，所述旋转驱动机构的旋转输出端与所述载物台的中心转动连接，用于驱动所述载物台水平转动，所述直线驱动机构用于驱动所述喷嘴沿经过所述载物台中心的直线方向往复运动。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，至少两个所述出液孔在所述喷嘴的喷射面上呈直线排列。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，至少两个所述出液孔的孔径相同。

4.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，至少两个所述出液孔的孔径沿所述直线排列方向依次减小。

5.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述出液孔的出液方向与所述载物台的表面垂直。

6.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，还包括与所述喷嘴连通的进液管，通过所述进液管向所述喷嘴输入所述显影液。

7.根据权利要求6所述的显影装置，其特征在于，还包括储液箱，所述储液箱用于盛放所述显影液，所述进液管用于连通所述储液箱和所述喷嘴。

8.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，至少两个所述出液孔的排列方向与所述喷嘴的往复运动的去程方向相同。

9.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述喷嘴的初始位置位于所述载物台中心的投影上方。

10.根据权利要求9所述的显影装置，其特征在于，所述喷嘴的往复运动的一端为所述载物台中心的投影上方、另一端不超过所述载物台的边缘。