[发明专利]一种显影装置

说明书

本发明公开了一种显影装置，涉及光刻胶显影技术领域。显影装置包括喷嘴、载物台、与载物台驱动连接的旋转驱动机构和与喷嘴驱动连接的直线驱动机构，载物台用于承载芯片，喷嘴设置在载物台上方，喷嘴上设有至少两个出液孔，出液孔用于朝向载物台表面喷吐显影液，旋转驱动机构的旋转输出端与载物台的中心转动连接，用于驱动载物台水平转动，直线驱动机构用于驱动喷嘴沿经过载物台中心的直线方向往复运动。上述显影装置通过多孔式喷嘴的设计并配合喷嘴和载物台的运动，不仅使待显影芯片表面达到线宽的高度一致性，提高了芯片的良品率，还能够适应多种尺寸的芯片，具有较高的普适性。

技术领域

本发明涉及光刻胶显影技术领域，具体而言，涉及一种显影装置。

背景技术

伴随着半导体制程的演进，业界对芯片的生产效率、功耗节能、线宽精度的要求越来越高，稍有不慎便会产生大量重加工甚至报废。因此，如何在显影成相的过程中精准的控制芯片上每一区域的线宽，达到高良品率，对本领域技术人员是极大的考验。

目前，业界常用的标准显影成像的方式是在显影槽内利用直立式的单喷嘴喷吐显影剂，从而在芯片表面实现显影成像。同时，利用芯片的旋转跟显影喷嘴的移动来控制芯片上每一区域的线宽。但是，现有的喷嘴移动区域的整个喷吐范围无法完全覆盖芯片的显影区域，容易造成芯片上各区域的线宽不均匀，进而造成良品率的降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种显影装置，以解决现有技术中，芯片显影后各区域线宽不一致的技术问题。

本发明的实施例是这样实现的：

本发明实施例提供一种显影装置，包括喷嘴、载物台、与载物台驱动连接的旋转驱动机构和与喷嘴驱动连接的直线驱动机构，载物台用于承载芯片，喷嘴设置在载物台上方，喷嘴上设有至少两个出液孔，出液孔用于朝向载物台表面喷吐显影液，旋转驱动机构的旋转输出端与载物台的中心转动连接，用于驱动载物台水平转动，直线驱动机构用于驱动喷嘴沿经过载物台中心的直线方向往复运动。

可选地，上述至少两个出液孔在喷嘴的喷射面上呈直线排列。

可选地，上述至少两个出液孔的孔径相同。

可选地，上述至少两个出液孔的孔径沿直线排列方向依次减小。

可选地，上述出液孔的出液方向与载物台的表面垂直。

可选地，上述显影装置还包括与喷嘴连通的进液管，通过进液管向喷嘴输入显影液。

可选地，上述显影装置还包括储液箱，储液箱用于盛放显影液，进液管用于连通储液箱和喷嘴。

可选地，上述至少两个出液孔的排列方向与喷嘴的往复运动的去程方向相同。

可选地，上述喷嘴的初始位置位于载物台中心的投影上方。

可选地，上述喷嘴的往复运动的一端为载物台中心的投影上方、另一端不超过载物台的边缘。

本发明实施例的有益效果包括：

本发明实施例提供的显影装置包括喷嘴、载物台、与载物台驱动连接的旋转驱动机构和与喷嘴驱动连接的直线驱动机构，载物台用于承载芯片，喷嘴设置在载物台上方，喷嘴上设有至少两个出液孔，出液孔用于朝向载物台表面喷吐显影液，旋转驱动机构的旋转输出端与载物台的中心转动连接，用于驱动载物台水平转动，直线驱动机构用于驱动喷嘴沿经过载物台中心的直线方向往复运动。在载物台的旋转运动和喷嘴的直线运动的相互配合下，使显影液覆盖芯片的整个待显影面。另外，通过喷嘴的直线运动，也可以实现在喷嘴尺寸较小的情况下，对较大的芯片表面喷吐显影液，同时，还可以使喷嘴的尺寸、结构不受待显影芯片尺寸的制约，提高了上述显影装置的普适性。多孔式喷嘴的设计可以在单位时间内使显影液覆盖更大区域的显影面积，同时，还可以通过调整显影剂的流量使待显影芯片表面达到线宽的高度一致性，进而提高芯片的良品率。

附图说明