[发明专利]一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法及装置

说明书

本发明涉及一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法及装置，所述方法包括正面工位检测，通过标记点定位正面缺陷的位置，将正面缺陷和正面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中、背面工位检测，通过标记点位置定位背面缺陷的位置，将背面缺陷和背面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中，分选机根据Mini LED晶圆信息文档判断晶圆是否合格并分选。本文提出的Mini LED晶圆正反面缺陷检测方法及装置，解决了Mini LED晶圆背面缺陷检测中的定位问题，让正反面的检测信息结合在一起，完成Mini LED正反面的缺陷检测，大大提高了Mini LED外观缺陷检出率、准确率及效率。

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法及装置。

背景技术

在现有的Mini LED视觉检测中，机器视觉需要通过Mini LED的标记点，将每个晶圆的检测结果同步到晶圆信息文档中，然后分选机台通过检测结果，对晶圆进行分选。目前Mini LED标记点只存在正面，故对Mini LED的背面缺陷检测中的定位标记在机器视觉中是一大检测难题。

发明内容

针对上述现有技术的缺陷，公开了一种晶圆正反面外观缺陷检测装置及方法，可以通过标记点将缺陷信息同步到晶圆信息文档中，让分选机可分选出Mini LED的背面缺陷晶圆，从而提出了一种同时兼容Mini LED的正、反面外观缺陷检测及定位标记的检测方法，极大地提高了Mini LED晶圆外观缺陷检出率，准确率和效率。

本发明公开了一种Mini LED晶圆正反面外观缺陷检测方法，包括以下步骤：

正面工位检测：将Mini LED晶圆放置于正面检测装置的第一检测镜头下方的第一载台上，将Mini LED晶圆正面朝上设置，Mini LED晶圆平面与第一检测镜头中心轴线垂直，所述第一载台为透明载台，所述Mini LED晶圆上方设置有第一环形光源，所述第一载台下方设置有第一背光源，使用第一环形光源和第一背光源照射晶圆，通过第一检测相机检测晶圆正面缺陷，通过标记点定位正面缺陷的位置，将正面缺陷和正面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中；

正面工位检测完成后，将Mini LED晶圆输送至背面检测装置，进行背面工位检测；

背面工位检测：将Mini LED晶圆设置于背面检测装置的第二检测镜头上方的第二载台上，将Mini LED晶圆背面朝下设置，Mini LED晶圆平面与第二检测镜头中心轴线垂直，所述第二载台为透明载台，所述Mini LED晶圆下方设置有第二组合光源，所述第二组合光源由环形光源和棱镜同轴光源组合而成，所述第二载台上方设置有第二背光源，使用所述第二组合光源和第二背光源照射Mini LED晶圆使得第二检测相机对标记点清晰成像，通过第二检测相机检测出Mini LED晶圆背面缺陷，通过标记点位置定位背面缺陷的位置，将背面缺陷和背面缺陷的位置信息合并至Mini LED晶圆信息文档中；

分选机根据Mini LED晶圆信息文档判断Mini LED晶圆是否合格并根据判断结果分选。

根据本发明的一个优选实施例，所述第二背光源为红外光背光源。所述Mini LED的背面缺陷主要包括DBR背崩、背面划痕、表面脏污、崩边，使用红外光背光源结合由环形光源和棱镜同轴光源组合而成的第二组合光源可以更清晰地呈现背面缺陷。

根据本发明的一个优选实施例，所述正面检测装置还包括点光源，正面工位检测时，使用点光源、环形光源与背光源频闪打光。使用上述三种光源频闪打光能更好地凸显出产品正面的多种缺陷，如电极缺损、电极刮伤/划痕、电极脏污、电极多金、电极鼓泡、划裂不良、电极方向不一致、隔离槽脏污、衬底破裂、晶粒双胞、PV正面崩边、PV边沿测量等。

根据本发明的一个优选实施例，正面工位检测和背面工位检测时，将所述MiniLED晶圆真空吸附在第一载台或第二载台上。使用真空吸附的方式固定待测Mini LED晶圆连接稳固且安装方便。