[发明专利]一种精细线路刻蚀液在审
申请号: | 202011518116.6 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN112680732A | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 刘维富 | 申请(专利权)人: | 江西遂川光速电子有限公司 |
主分类号: | C23F1/44 | 分类号: | C23F1/44;C23F1/20;H05K3/06 |
代理公司: | 合肥德驰知识产权代理事务所(普通合伙) 34168 | 代理人: | 刘希慧 |
地址: | 343900 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精细 线路 刻蚀 | ||
1.一种精细线路刻蚀液,其特征在于,所述刻蚀液的组分包括:
无机酸性液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为30-50%;
有机酸液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为20-30%;
缓冲刻蚀剂(BOE),以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-20%;铝刻蚀剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为3-20%;
铜保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-10%;
钼保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为2-10%。
2.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述无机酸性液包括磷酸、氢氟酸、硝酸。
3.根据权利要求2所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述磷酸、氢氟酸、硝酸配比为1:1:3。
4.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述有机酸液包括乙醇酸、琥珀酸、甲酸。
5.根据权利要求4所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述乙醇酸、琥珀酸、甲酸配比为2:1:2。
6.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述铜保护剂为五水硫酸铜。
7.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述钼保护剂为硫酸钼。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西遂川光速电子有限公司,未经江西遂川光速电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011518116.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种消音器成型装置
- 下一篇:一种彩钢板成型表面处理系统