[发明专利]一种精细线路刻蚀液在审

专利信息
申请号: 202011518116.6 申请日: 2020-12-21
公开(公告)号: CN112680732A 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 刘维富 申请(专利权)人: 江西遂川光速电子有限公司
主分类号: C23F1/44 分类号: C23F1/44;C23F1/20;H05K3/06
代理公司: 合肥德驰知识产权代理事务所(普通合伙) 34168 代理人: 刘希慧
地址: 343900 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 精细 线路 刻蚀
【权利要求书】:

1.一种精细线路刻蚀液,其特征在于,所述刻蚀液的组分包括:

无机酸性液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为30-50%;

有机酸液,以该蚀刻液组合物总重计,含量为20-30%;

缓冲刻蚀剂(BOE),以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-20%;铝刻蚀剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为3-20%;

铜保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为5-10%;

钼保护剂,以该蚀刻液组合物总重计,含量为2-10%。

2.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述无机酸性液包括磷酸、氢氟酸、硝酸。

3.根据权利要求2所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述磷酸、氢氟酸、硝酸配比为1:1:3。

4.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述有机酸液包括乙醇酸、琥珀酸、甲酸。

5.根据权利要求4所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述乙醇酸、琥珀酸、甲酸配比为2:1:2。

6.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述铜保护剂为五水硫酸铜。

7.根据权利要求1所述的精细线路刻蚀液,其特征在于,所述钼保护剂为硫酸钼。

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